Lω-空间中的ω-Tychonoff分离性

在Lω-空间中,借助于ω-连续的L值Zadeh型函数,给出ω-Tychonoff分离性的定义,并系统研究ω-Tychonoff分离性的特征性质。证明ω-Tychonoff分离性是可遗传的、任意可乘的、ω-弱同胚不变的。     

超声清洗及其物理机制

本文主要讨论了超声清洗的物理机制：空化、声流、射流及超声振动本身的机械效应．     

一种探针台自动定位方法的研究与实现

探针台希望在上片后无需人工对准,就能从晶圆的第一个晶粒（第一点）开始检测,然而晶圆上片后,探针下方的开始位置往往并不是第一点。为了让第一点快速的移至探针下方,对平台的运行轨迹进行了研究,提出了螺旋定位法的概念,以平台上开始位置为中心,螺旋式步进运行,配合镜头的图像识别技术,一步一识别,逐步扩大范围,直至在镜头视野中找到晶圆中唯一的特殊晶粒（特殊点）。由于第一点与特殊点的位置相对固定,所以找到了特殊点即找到了第一点。此方法经过算法分析及整合编程后,进行了多次试验,并交付客户使用,第一点都能快速移至探针正下方且长时间运行稳定。此自动定位方法不仅节省了人力成本,提高了定位精度,又大大的提升了探针台的工作效率。