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采用金属有机分解法在p型Si衬底上制备了SiTiO3(STO)薄膜.研究了STO薄膜金属-绝缘体-半导体(MIS)结构的介电和界面特性.结果表明,STO薄膜显示出优异的介电性能,在10kHz处的介电常数约为105,损耗低于0.01,这来源于多晶结构和良好的结晶性;MIS结构中的固定电荷密度Nf和界面态密度Dit分别约为1.5×1012cm-2和(1.4-3.5)×1012 cm-2 eV-1,这主要与Si/STO界面处形成的低介电常数界面层有关. 相似文献
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采用金属有机分解法在p型Si衬底上制备了SrTiO3(STO)薄膜.研究了STO薄膜金属 绝缘体 半导体(MIS)结构的介电和界面特性.结果表明,STO薄膜显示出优异的介电性能,在10kHz处的介电常数约为105,损耗低于001,这来源于多晶结构和良好的结晶性;MIS结构中的固定电荷密度Nf和界面态密度Dit分别约为15×1012cm-2和(14—35)×1012cm-2eV-1,这主要与Si/STO界面处形成的低介电常数界面层有关.
关键词:
SrTiO3薄膜
MIS结构
介电性能
Si/STO界面 相似文献
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伯胺N1923萃取醋酸的研究 总被引:4,自引:1,他引:3
研究了伯胺N1923萃取醋酸(HAc)的机理.利用对应溶液法确定了萃取平衡,求得平衡常数;辅以饱和法、红外光谱法确认萃合物的组成为N1923·HAc,N1923·2HAc和N1923·3HAc.初步探讨了温度对萃取平衡的影响和进行反萃的条件. 相似文献
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本文对无机光谱烧孔系列材料SryBa1-yFCl0.5Br0.5:Sm2+中不同组份的样品(y=0,0.25.0.5,0.75.1.00)4f5d能带的激发光谱、不同温度下5D2、5D1、5D0→7F0跃迁的荧光衰减进行了测量,研究了组份的变化对4f5d能带的位置,5D2、5D1、5D0→7F0跃迁的几率和烧孔效率的影响,并得出结论:在该系列材料中,随组份y的增加,4f5d带与5DJ能级更加接近,5D0→7F0的电子跃迁几率增大,烧孔效率提高。 相似文献
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象马明老师那样 ,把对学生的个别辅导 ,看作一种教学的研究行为 ,作为了解学生数学学习心理及学生学习状况的过程 ;作为反思教师自己的教法及其教学效率的良机——这样去看待个别辅导 ,就不仅是你在帮助学生 ,也是学生在启发你 ,帮助你了 .当代 ,许多老师很迷信“高 (密度 )快 (频率 )大(运动量 )”训练模式 ,有的甚至已发展到唯“高快”是前瞻的地步 .但只要你经常地及时地了解学生 ,走到学生中间去 ,给学生辅导 ,为学生答疑 ,了解学生独立地完成作业的情况 ,…你一定会有所反思与醒悟的 .不信 ?不妨走下去试一试 !给中差生辅导会启示你很多东西的 ,但最好不是你自己所任教班的学生——这时的交流会更自由一些 相似文献
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根据值型线性双层规划的 Johri一般对偶的对偶性质 ,把对两类值型线性双层规划的求解问题转化为对有限个线性规划的求解问题 ,简化了双层规划的求解过程 ,给出了求解这两类值型线性双层规划的一种有效算法 相似文献
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凸二次交叉规划的等价形式 总被引:1,自引:0,他引:1
利用参数规划逆问题考虑凸二次交叉规划与多目标规划的关系 ,把交叉规划转变为同变量规划组 ,再把同变量规划组变为多目标规划 ,证明了凸二次交叉规划的均衡解与多目标规划的最优解的关系。 相似文献
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水杨酸甲酯清除羟基自由基活性的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用脉冲辐解技术研究了水杨酸甲酯清除羟基自由基反应的瞬态吸收谱,测定了水杨酸甲酯与羟基自由基反应的表观速率常数。辅以常规检测方法,测定了水杨酸甲酯对羟基自由基的清除率。结果表明,水杨酸甲酯能快速有效清除羟基自由基。探讨了水杨酸甲酯清除羟基自由基的反应机制。 相似文献