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2.
Stress-induced leakage current characteristics of PMOS fabricated by a new multi-deposition multi-annealing technique with full gate last process 下载免费PDF全文
In the process of high-k films fabrication, a novel multi deposition multi annealing(MDMA) technique is introduced to replace simple post deposition annealing. The leakage current decreases with the increase of the post deposition annealing(PDA) times. The equivalent oxide thickness(EOT) decreases when the annealing time(s) change from 1 to 2. Furthermore,the characteristics of SILC(stress-induced leakage current) for an ultra-thin SiO_2/HfO_2 gate dielectric stack are studied systematically. The increase of the PDA time(s) from 1 to 2 can decrease the defect and defect generation rate in the HK layer. However, increasing the PDA times to 4 and 7 may introduce too much oxygen, therefore the type of oxygen vacancy changes. 相似文献
3.
Angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy study of GeO_x growth by plasma post-oxidation 下载免费PDF全文
The growth process of GeO_x films formed by plasma post-oxidation(PPO) at room temperature(RT) is investigated using angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy(AR-XPS). The experimental results show that the distributions of the Ge~(4+)states, a mixture of the Ge_(2+)and Ge~(3+)states, and the Ge~(1+)states are localized from the GeO_x surface to the GeO_x/Ge interface. Moreover, the Ge~(1+)states are predominant when the two outermost layers of Ge atoms are oxidized.These findings are helpful for establishing in-depth knowledge of the growth mechanism of the GeO_x layer and valuable for the optimization of Ge-based gate stacks for future complementary metal–oxide–semiconductor(MOS) field-effect transistor(CMOSFET) devices. 相似文献
4.
在生长LiNbO3过程中掺进6mol%ZnO和0.2mol%Nd2O3生长了Zn:Nd:LiNbO3晶体。测试了晶体的吸收光谱,荧光光谱和抗光损伤阈值,应用简并四波混频技术研究了Zn;Nd:LiNbO3晶体的光折变效应,它的光栅形成机制是异常光生伏特效应,它的抗光损伤能力比Nd:LiNbO3晶体提高二个数量级,这是由于光电导的增强而引起的。 相似文献
5.
二苯胺重氮盐由于每个分子中有二个苯环,其中末键连重氮基的苯环可与甲醛在酸性介质中发生缩聚反应[1~3],形成的重氮树脂具有良好的感光性能,并可溶于有机溶剂或碱性显影液,极适合于制备感光胶印版,已发展成为阴图PS版最重要的感光剂[4~7]. 相似文献
6.
作为全球公共卫生事件,恶性肿瘤严重影响人类健康、寿命和生活质量。肿瘤的发生发展经历了极其复杂的过程,表现出高度的时空异质性,影响其转移和耐药。为探寻这种异质性,多种临床影像技术和空间组学技术得以飞速发展。其中,临床影像技术准确率高但无法提供高通量的生物分子信息。空间组学技术可以获得标本的多种生物学特征,包括基因、蛋白和代谢等,但无法提供在体信息。将临床影像和空间组学技术相结合,可以优势互补,在临床和基础科学研究中具有较大应用前景,对于精确解析肿瘤的时空异质性和鉴别肿瘤分子分型、开展肿瘤精准诊断和发展进程预测等研究具有重要的推进作用。本文对该技术方法和特征进行了评述并展望了其发展趋势。 相似文献
7.
8.
神经红蛋白突变体(F28Y,F106Y)的构建、 表达与表征 总被引:2,自引:0,他引:2
构建了神经红蛋白F28Y, F106Y的两种突变体, 并进行了表达、 纯化和谱学表征. 电喷雾质谱表明突变体蛋白的分子量与理论值一致. 氧化型和还原型F28Y及F106Y的紫外 可见吸收光谱与野生型相似, 仅氧化型F28Y的Soret 带有2 nm的蓝移, 说明这两种突变体蛋白仍保持六配位形式. F28Y的荧光最大发射峰明显红移(340 nm→347 nm), 表明其荧光基团更加暴露于极性环境中. 圆二色光谱表明, 突变体蛋白的α 螺旋含量降低且F28Y产生了β 折叠, 这是由于F28相对于F106则位于疏水腔外部且更加接近于溶剂表面所致. 热稳定性顺序为NGB>F28Y>F106Y, F106Y最不稳定, 是因为其与血红素间存在着较强的疏水作用, 突变使F106与血红素间的作用力减弱, 从而导致血红素在热变性条件下更容易从蛋白中解离出来. 相似文献
9.
正通过组织实验室间的协同试验,用数理统计方法,计算并确定标准测试方法的重复性限和再现性限与质量分数之间的函数关系,称为方法精密度~([1])。精密度反映在规定条件下所获得的独立检测结果的接近程度,是检测系统分析性能的重要质量指标,是评价、选择检测方法的依据。但是协同试验工作量大,需要耗费相当的人力与财力。能力验证是指利用实验室间比对,按照预先制定的准则评价参加者的能力~([2]),是实验室证明其技 相似文献
10.