锆钛酸铅双层膜的铁电及光学特性研究

采用化学溶液沉积法在LaNiO₃涂布的硅晶片上制备了高度(100)择优取向，表面均匀、平整、致密无裂纹的PbZr_0.5Ti_0.5O₃/PbZr_0.4Ti_0.6O₃双层膜. 双层膜具有单一的钙钛矿相，同时拥有良好的铁电性能，剩余极化强度高达64μC/cm²，平均矫顽场仅为43.6kV/cm. 棱镜-薄膜耦合实验结果表明PbZr_{关键词： 铁电薄膜 平板光波导 锆钛酸铅 棱镜-薄膜耦合}