电容式微超声波换能器的设计与电容值测试*

本文设计的微电容超声波换能器(CMUT)是由电容阵列组成的超声波传感器,主要是利用电容的改变来实现能量的转换。是基于硅硅键合技术的MEMS电容式超声传感器,制作的传感器误差小,并且工艺流程简单且能进行量产。在利用E4990A阻抗分析仪对传感器进行C—V测试分析而得出其电容的实际值与理论值的误差仅为1.6%。并且利用该仪器测试传感器电容在工作电压下随频率的变化,得出其在工作电压下,频率为400K的时候电容值为617.67PF,为对传感器进行理论计算提供了重要支撑,并且为后续转换电路的设计提供了数据支撑。