温度补偿的悬臂梁光纤光栅力传感研究

本文提出了一种新颖的基于悬臂梁结构的光纤光栅力传感方法,将光纤光栅粘贴在悬臂梁和固定端基板的结合处,利用梁与基板对力和温度的不同响应,成功地实现了对力和环境温度的同时传感测量,消除了由于温度变化所引起的交叉敏感对传感测量准确性的影响.基于光谱分析仪0.1nm的光谱分辨率,实验可得到的力的测量分辨率为0.03N,测量范围可达1.5N,温度分辨率为3.4℃(力不变时可达0.86℃).实验结果与理论分析基本一致.