微通道板空间光调制器中电光调制的传递特性

本文利用折射率椭球和点电荷模型研究了MSLM中偏z轴斛切LiNbO₃晶体的介电,电光传递过程。导出了在纵向,横向电场同时存在时电光效应的表达式及调制区的电荷——电压传递函数解析式。讨论了横向电场和器件结构参数对输出的影响及优化设计问题。指出偏z轴30°～60°切割晶体都可得到较好结果。     

MSLM调制组件的电光性能

对设计并制作的[M_gF₂+(ZrO₂/SiO₂)]膜系·LiNbO₃·ITO/玻璃结构的MSLM用调制组件的综合电光性能进行了实验测定。结果表明,其反射半波电压V_πR为1.2kV±0.1kV,反射率达99%,峰值次级电子发射系数为5.8。用其制作的光导址MSLM具有良好的功能与性能。     

电光晶体在MSLM中的应用

本文利用MSLM电光调制理论对几种实用电光晶体的综合电光性能进行了理论分析和比较。讨论了材料固有的铁电相变及自然双折射等特性与器件制作工艺的兼容性问题。结果指出LiNbO₃、LiTaO₃、BSO是目前可以利用的三种各具特点的电光晶体。     

超薄LiNbO3晶片与窗玻璃的真空扩散法焊接

超薄LiNbO₃晶片与窗玻璃的焊接是制作微通道板空间光调制器的关键工艺之一。常规的焊接方法满足不了对焊接面的特殊要求。本文作者依照真空扩散焊原理,开发了一种用廉价金属铝作过渡层的焊接工艺。实现了这两种非金属材料之间的机械及电气上的牢靠连接。     

一种近贴式微通道板空间光调制器

对由光电阴极、微通道板、网电极及斜切电光晶体ＬｉＮｂＯ３组成的新型全近贴式微通道板空间光调制器（ＭＳＬＭ）进行了系统地研究。详述了该器件的设计考虑及关键工艺过程。研制出了一种紫外光响应的开放式ＭＳＬＭ样管。并用其实现了二维光强度空间调制。