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在纳米印章技术中,为克服电子束刻蚀制备50nm以下线条的技术难点,利用等离子增强化学 气相沉积技术制备了a-Si/SiNx多层膜,再利用选择性湿法腐蚀或干法腐蚀在横 截面上制备出浮雕型一维纳米级模板. 多层膜子层之间界面清晰陡峭,可以在纳米量级对子 层厚度进行控制,得到了侧壁在纳米尺度上平滑的模板. 通过控制多层膜子层的生长时间, 制备出线条宽度和槽状宽度均为20nm的等间距模板,品质优于电子束刻蚀技术制备的模板.
关键词:
纳米印章模板
多层膜生长技术 相似文献
2.
基于螺旋度分波分析公式 ,我们探讨在J ψ→fJ(θ1,1)、fJ→ππ(θ2 ,2 )、→K+ K-(θ3 ,3 )级联衰变过程中是否可以通过各种一维角分布投影鉴别出f0 和f2 共振态 .结果表明 ,f0 和f2 可以同时给出完全相同的 (θ1,1,θ2 ,2 )一维投影 ,但不能同时给出完全相同的 (θ1,1,θ2 ,2 ,3 )一维投影 .因此 ,要想保证从角分布的一维投影鉴别出f0 和f2 ,必须同时考虑所有三个衰变顶角的角分布信息 . 相似文献
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SERS传感器间接检测蛋白质的研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
蛋白质在生命体中发挥着重要的作用,蛋白质的检测对于了解生命体系及在生物医学领域都有基础性的应用价值。表面增强拉曼光谱(SERS)技术对研究化学和生物传感应用前景很有优势,是由于其高灵敏度以及很好的选择性,并且已被运用于生物分子检测,特别是在蛋白质检测方面。综述了SERS探针技术用于蛋白质检验的研究现状,如免疫胶体金技术、基于纳米材料探针的SERS研究、基于酶促技术和基于试剂技术的蛋白质研究进展。 相似文献
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当贵金属纳米结构被外部电磁波激发时,由于自由电子沿着贵金属纳米结构表面的集体振荡将会出现光学共振,这些集体振动模式被称为等离子体[1-3]。在周期性阵列结构中LSPR的分布和强度是决定其表面增强拉曼(SERS)性能的最主要因素。通过倾角溅射的方法制备了倾斜角度可调的的六方密排银纳米棒阵列(见Scheme 1.),通过数值模拟和偏振拉曼结合的方法,解释了不同倾斜角度的所对应的4-MBA分子的a1震动模式处所对应的主峰出现了明显的红移现象的根本原因。本研究不仅促进了这种结构在SERS领域的深入应用,同时也增加了我们对复杂金属纳米结构中表面等离子体激发的深入理解。 相似文献
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以廉价的木糖、蔗糖、淀粉和葡甘聚糖为硬模板剂成功合成出含多级孔道的SAPO-34分子筛,采用XRD、BET、SEM、TEM、ICP和NH3-TPD等手段对催化剂进行了表征,并在固定床上,研究了糖类硬模板剂对SAPO-34分子筛的结构以及MTO性能的影响。结果表明,糖类硬模板剂能够提升SAPO-34分子筛的比表面积、微孔和介孔体积。与常规SAPO-34分子筛相比,多级孔道SAPO-34分子筛的双烯选择性和寿命均高。介孔体积最大、酸量最少、酸性最弱的SAPO-34-z分子筛的寿命最长(130 min),高出常规SAPO-34分子筛(100 min)30%,分子筛寿命从长到短顺序为SAPO-34-z > SAPO-34-h > SAPO-34-d > SAPO-34-m > SAPO-34 > SAPO-34-p。含多级孔道的SAPO-34分子筛的双烯选择性均高于常规SAPO-34分子筛。 相似文献
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基于螺旋度分波分析公式,我们探讨在J ψ→fJ(θ1,1)、fJ→ππ(θ2 ,2 )、→K+ K-(θ3 ,3 )级联衰变过程中是否可以通过各种一维角分布投影鉴别出f0 和f2 共振态.结果表明,f0 和f2 可以同时给出完全相同的(θ1,1,θ2 ,2 )一维投影,但不能同时给出完全相同的(θ1,1,θ2 ,2 ,3 )一维投影.因此,要想保证从角分布的一维投影鉴别出f0 和f2 ,必须同时考虑所有三个衰变顶角的角分布信息. 相似文献
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提出了双通构型的基于“和频”和“差频”级联二阶非线性效应的可变波长路由方案,通过调节两个抽运源的频率,可以从一个WDM(wavelength division multiplexing)链路中取出任意一个信道,然后将其转换为任意一个波长并插入到另一个WDM链路中去.实现了可调谐波长转换和光波长路由的结合.通过小信号分析,给出了相位匹配情况下,输入信号光在波导中功率变化的表达式和输出转换光功率变化的表达式,并给出了提高系统效率的对两个抽运光功率的优化方案.数值计算表明,只要信道间隔大于02nm(25GHz 相似文献