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多层薄膜/基片材料的热学性质受各层薄膜及基片的共同影响,因此同时评估各层材料的热学性质是非常重要的.激光诱导瞬态热栅技术是一种研究材料表面及亚表_面光声光热现象有效的方法,因此可用于研究多层材料的热学性质.本文利用瞬态热弹反射光栅方法研究多层薄膜/基片结构材料的热扩散率,首先对A1/ZnO/Si基片结构的多层材料进行激... 相似文献
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