16nm极紫外光刻物镜热变形对成像性能影响的研究

16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据,对数值孔径为0.33且满足16 nm技术节点的典型EUVL物镜进行热变形仿真研究。采用有限元软件ANSYS仿真曝光过程中反射镜的瞬态温度和变形分布。以Zernike多项式为接口拟合变形面,分析热变形对成像性能的影响。结果表明:物镜的最高温升和最大变形分别为3.9℃和10.2 nm,高温态物镜的热变形引起的最大波像差均方根和畸变分别为0.1λ和56 nm,超出了合理范围。M3和M4反射镜热变形累加引起的波像差和畸变的占比分别为88%和99%,对成像性能的影响起主导作用,需要对其进行严格控温。     

波长无啁啾调谐窄线宽掺Yb3+双包层光纤激光器

用相位掩模法, 在圆形掺Yb3+双包层光纤上制作了Bragg光纤光栅,并用它作为双包层光纤激光器的输出腔镜, 在光栅反射中心波长1055.2 nm位置得到了窄线宽的激光输出, FWHM为0.271 nm, 信噪比约为40 dB.这种结构的双包层光纤激光器, 在双包层增益光纤和后腔镜间没有连接损耗, 减小了双包层光纤激光器体积. 用自行制作的等强度梁对作为输出腔镜的光纤光栅做双向应力调谐, 实现了激光波长无啁啾调谐输出, 调谐范围1051.1~1060.04nm,调谐量达8.9nm, 调谐过程中激光3 dB线宽基本无变化.     

双波长高灵敏度Bragg光纤光栅压力传感器

裸光纤光栅压力灵敏度只有 -2. 05×10-6 /MPa,这样并不能将其用于低压力范围内的测量 本文改进了封装结构,利用金属管结构对光纤光栅部分封装,制作成双波长高灵敏度光纤光栅压力传感器 其压力灵敏度在 0~0. 44MPa的范围内可达-2. 44×10-3 /MPa,是裸光栅的 1200倍,大大提高了光纤光栅压力传感的灵敏度 采用自行研制的Bragg光纤光栅,其反射波长为 1558. 00 nm,峰值反射率为 99% 封装后的Bragg光纤光栅位于铜管的轴心,将其一部分 (约光纤光栅的二分之一 )封装到长 25mm,外径 10mm厚为 0. 8mm的铜管内 室温为 18℃时将封装好的光…     

带宽调制型单光纤光栅温变无补偿位移传感

报道了利用反射谱带宽调制和光强差分探测技术实现单一光纤光栅温变无补偿位移精确测量的新方法。设计了一种结构新颖的曲臂梁位移传感装置,结合光波导理论与材料力学原理分析了光纤光栅在高斯应变作用下光栅反射谱侧向梯度展宽的成因,理论推导了特殊结构梁在外力作用下光栅反射谱带宽/反射光强与压力之间的响应关系。光栅反射谱侧向梯度展宽的同时反射光强线性增加,利用光强差分检测方法消除光源出光抖动的影响,提高了位移测量精度。基于带宽调制的光纤光栅位移传感方法免受温度变化的影响,在-10℃~80℃的温度变化范围内,测量误差小于1.2%,实现了单光纤光栅温变无补偿位移测量。     

基于圆环形薄壁截面梁的光纤光栅传感研究

提出将圆环形薄壁截面梁应用于光纤光栅传感，用一个光栅实现了对温度与应力的同时区分测量；对圆环形薄壁截面梁的应变进行了理论与实验分析，结果表明圆环形薄壁截面梁各点应变与该点角度的二倍呈余弦变化关系. 关键词： 光纤光栅传感 圆环形薄壁截面梁 啁啾     

螺旋波等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜

利用螺旋波等离子体增强化学气相沉积(HWP-CVD)技术，以SiH4和N2为反应气体进行了氮化硅(SiN)薄膜沉积，并研究了实验参量对薄膜特性的影响.利用傅里叶变换红外光谱、紫外—可见光谱和椭偏光检测等技术对薄膜的结构、厚度和折射率等参量进行了测量.结果表明，采用HWP-CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜，所沉积的薄膜主要表现为Si—N键合结构.采用较低的反应气体压强将提高薄膜沉积速率，并使薄膜的致密性增加.适当提高N2/SiH4比例有利于薄膜中H含量的降低. 关键词： 螺旋波等离子体 化学气相沉积 氮化硅薄膜     

Wavelength-tunable erbium-doped fiber laser with FBG and HiBi fiber loop mirror as reflectors

In this paper, a novel structure erbium-doped fiber laser with a linear cavity is demonstrated. The wavelength selective devices are a fiber Bragg grating (FBG) and a high birefringence (HiBi) fiber loop mirror. From 1543.8 to 1555.2 nm, 15 lasering wavelengths with side mode suppresion ratio (SMSR) ＞ 54dB and approximately 0.8-nm spacing have been obtained by using the comb-like reflection spectrum of fiber loop mirror and the intensity reaches about 2.5 dBm on an average. The reflectivity at different wavelengths can be tuned with different settings of polarization controller and the relative laser intensity can be controlled over a dynamic range of 13.5 dB.     

光强检测型光纤光栅温变不敏感动态压力传感研究

报道了基于光纤光栅反射谱带宽调制和光强差分检测技术实现单一光纤光栅温变不敏感动态压力传感的新方法。设计了一种结构新颖的双孔梁压力传感装置,依据双孔梁有限元受力分析将光纤光栅准确定位于线性梯度应变区,压力作用下光纤光栅反射谱对称展宽,反射光强线性正比于压力变化。基于光波导理论和材料力学原理推导了线性梯度应变场作用下光栅反射谱带宽、反射光强与压力之间的响应关系。利用光强差分检测技术取代传统波长解调方法,简化解调过程的同时传感系统免受温变影响。实验表明,在-10~80℃的温度变化范围内,系统测量误差小于总量程(120kPa)的1.8%,动态响应速度约80Hz,重复测量系统输出稳定,具有较好的应用价值。     

双折射光纤环形镜滤波器特性研究

双折射光纤环形镜具有滤波特性，将两个串联的双折射环形镜作为光学滤波器可以改善滤波特性，使其更为灵活。提出了用两个双折射光纤环形镜相串联的简单方案改善环形镜滤波特性。分析了由双折射光纤和萨尼亚克环构成的环形滤波器的透射特性，并讨论了用两个双折射光纤环形镜串联的滤波特性。从理论上模拟了双折射光纤长度比为1：2时的透射光谱形式，给出了透射光的表达式。串联后光谱中主峰的3dB带宽约为7nm，与单个环形镜相比，压缩了环形镜的3dB带宽，品质因数Q约为4．5。实验结果与理论模拟相一致，因此证实了该理论的正确性。     

A Room-Temperature Multiwavelength Erbium-Doped Fibre Laser by Exploiting Polarization Hole Burning

Multiwavelength operation of a linear cavity erbium-doped fibre laser (EDFL) is proposed and demonstrated. A 3-dB fibre loop mirror and a high birefringence (HiBi) fibre loop mirror are utilized as the cavity reflectors. By utilizing the wavelength-dependent polarization rotation induced by the HiBi fibre loop mirror and by using a fibre polarizer to control the intracavity polarization state, the polarization states of different wavelengths are diversified. Therefore, the polarization hole burning (PHB) effect has been greatly enhanced and the homogeneous broadening of erbium-doped fibre is suppressed to a large extent. By simply tuning a polarization controller, we experimentally obtained simultaneous lasing of four and five wavelengths with wavelength spacing of ～1.8nm and less than 2nm at room temperature, respectively. The repeated scans show that all of these lasers have good stability.