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对不同温度下沉积的ZnS薄膜的结晶情况和光学特性进行了研究, 结果表明:沉积温度对ZnS薄膜的物理和光学特性有较大影响, 不同的温度沉积的ZnS薄膜具有不同的择优取向, 牢固度也大不相同; 不同沉积温度下, ZnS薄膜的光学常数也不尽相同. 温度为115 ℃和155 ℃时, ZnS薄膜的物理性能和光学性能较差, 不适合空间用光学薄膜的研制使用. 而190 ℃和230 ℃沉积温度下所得薄膜具有较好的物理和光学性能, 适合于不同要求的空间用薄膜器件的研制使用.
关键词:
硫化锌薄膜
沉积温度
表面形貌
光学常数 相似文献
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采用热蒸发和电子束蒸发两种沉积方式分别沉积了相同厚度的SrF2-CaF2 (比例为1∶1) 的混合物薄膜,对其物理和光学特性进行了研究,并定量地给出了其在红外波段的光学常数,填补了这一数据的空白. 同时提供了一种获得不同低折射率薄膜的方法.文中还以该比例的混合物作为低折射率材料,研制出具有很好的光学性能的长波红外宽光谱增透膜.
关键词:
2-CaF2混合物薄膜')" href="#">SrF2-CaF2混合物薄膜
表面形貌
红外光学特性
宽光谱增透膜 相似文献
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