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GaN的声表面波特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用金属有机物化学气相外延方法在(0001)面蓝宝石上生长了高质量、高阻的未掺杂(0001)面GaN薄膜。为精确测量GaN薄膜材料的声表面波特性,在GaN薄膜表面上沉积了金属叉指换能器,叉指换能器采用等叉指结构,叉指的数目为40对,叉指间距为15μm。采用脉冲法测量了声表面波在自由表面和金属表面上的速度,并通过计算得到了机电耦合系数(κ^2)。所测量的声表面波速度(ν)为5667m/s,机电耦合系数(κ^2)为1.9%。 相似文献
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最近到一所学校听随堂课,一位教师执教七年级“有理数乘法(第1课时)”,笔者听课后感慨良多,备课组高度统一的导学案是规范了教学行为,还是限制了教师的教学创意呢?本文先概述该课使用的导学案,然后给出相关思辨和商榷,与同行研讨。 相似文献
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