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1.
2.
利用水平式低压热壁CVD (LP-HW-CVD) 生长系统,台阶控制生长和衬底旋转等优化技术,在偏晶向的4H-SiC Si(0001) 晶面衬底上进行4H-SiC同质外延生长,生长温度和压力分别为1550℃和104 Pa,用高纯N2作为n型掺杂剂的4H-SiC原位掺杂技术,生长速率控制在5μm/h左右.采用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM),傅里叶变换红外光谱(FTIR)和Hg/4H-SiC肖特基结构对同质外延表面形貌、厚度、掺杂浓度以及均匀性进行了测试.实验结果表明,4H-SiC同质外延在表面无明显缺陷,厚度均匀性1.74%, 1.99% 和1.32%(σ/mean),掺杂浓度均匀性为3.37%,2.39%和2.01%.同种工艺条件下,样品间的厚度和掺杂浓度误差为1.54%和3.63%,有很好的工艺可靠性.
关键词:
4H-SiC
同质外延生长
水平热壁CVD
均匀性 相似文献
3.
本文研究了在反应气体中引入不同浓度的CO2对微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法同质外延生长单晶金刚石内应力的影响,并对其作用机理进行了分析。研究发现,随着CO2浓度增加,单晶金刚石内应力逐渐减小,这是由于添加的CO2提供了含氧基团,可以有效刻蚀金刚石生长过程中的非金刚石碳,并能够降低金刚石中杂质的含量,从而避免晶格畸变,减少生长缺陷,并最终表现为单晶金刚石内应力的减小,其中金刚石内应力以压应力的形式呈现。此外反应气体中加入CO2可以降低单晶金刚石的生长速率和沉积温度,且在合适的碳氢氧原子比(5∶112∶4)下能够得到杂质少、结晶度高的单晶金刚石。 相似文献
4.
5.
宽禁带半导体具备禁带宽度大、电子饱和飘移速度高、击穿场强大等优势,是制备高功率密度、高频率、低损耗电子器件的理想材料。碳化硅(SiC)材料具有热导率高、化学稳定性好、耐高温等优点,在SiC衬底上外延宽禁带半导体材料,对充分发挥宽禁带半导体材料的优势,并提升宽禁带半导体电子器件的性能具有重要意义。得益于SiC衬底质量持续提升及成本不断降低,基于SiC衬底的宽禁带半导体电子市场占比呈现逐年增加的态势。在SiC衬底上外延生长高质量的宽禁带半导体材料是提高宽禁带半导体电子器件性能及可靠性的关键瓶颈。本文综述了近年来国内外研究者们在SiC衬底上外延SiC、氮化镓(GaN)、氧化镓(Ga2O3)所取得的研究进展,并展望了SiC衬底上宽禁带半导体外延的发展及应用前景。 相似文献
6.
7.
我们不能理解我们不了解的东西,除非我们开始对它感兴趣。作为心理学范畴的信念激励,总是有太多的致富励志书籍泛滥而过度的引用此类说法,以至于讲了一大堆“只要你相信,就能成功”诸如此类较为悬乎的无限信念增强法,最后却总是不免沦为空洞的口号。 相似文献
8.
在修改的Fisher模型框架下, 利用同质异位素产额比和结合能方程中对称能系数与温度比率的关联, 可以提取对称能系数与温度的比值。 利用3种不同的近似方法得到了重离子核反应产生丰中子余核的对称能系数与温度比(asym/T),并研究了相关物理量对asym/T的影响。结果表明, 库仑能对提取丰中子余核的asym/T影响较小,且参考核的选取对asym/T的提取也有一定的影响。 In the framework of the modified Fisher model, correlations between the symmetry energy coefficient in semi classical mass formula to temperature (asym/T) and the isobaric yield ratio in Heavy ion collisions are established. asym/Tof neutron rich fragments are extracted using these correlations. It is found that the Coulomb energy term has little effect on asym/T of fragments, while the reference isobars adopted have great influence on the extracted a sym/T of fragments. 相似文献
9.
Coliins低能诱导6179Hfm^m2辐射衰变“正”面实验结果受到质疑的原因之一是未能确定出诱导实验的中间激发态。^178Hf核能级结构的实验数据表明:距同质异能态^178Hf^m2(2.446Mev)最近的一条能级是2.573MeV(K^π=14^+)。因此,详细计算^178Hf核2.44-2.6MeV范围内高自旋、高激发核能级结构,对寻找低能诱导^178Hf^m辐射衰变中间激发态,分析低能诱发辐射实验可行性非常必要。 相似文献
10.