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1.
高端芯片制造所需要的极紫外光刻技术位于我国当前面临35项"卡脖子"关键核心技术之首.高转换效率的极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用双激光脉冲打靶技术实现较强的6.7 nm极紫外光输出.首先,理论计算Gd18+—Gd27+离子最外层4d壳层的4p-4d和4d-4f能级之间跃迁、以及Gd14+—Gd17+离子最外层4f壳层的4d-4f能级之间跃迁对波长为6.7 nm附近极紫外光的贡献.其后开展实验研究,结果表明,随着双脉冲之间延时的逐渐增加,波长为6.7 nm附近的极紫外光辐射强度呈现先减弱、后增加、之后再减弱的变化趋势,在双脉冲延时为100 ns处产生的极紫外光辐射最强.并且,在延时为100 ns处产生的光谱效率最高,相比于单脉冲激光产生的光谱效率提升了33%.此外,发现双激光脉冲打靶技术可以有效地减弱等离子体的自吸收效应,获得的6.7 nm附近极紫外光谱宽度均小于单激光脉冲打靶的情形,且在脉冲延时为30 ns时刻所产生的光谱宽度最窄,约为单独主脉冲产生极紫外光谱宽度的1/3.同时... 相似文献
2.
5.
针对中高温烟气驱动的有机朗肯循环发电系统进行多目标优化设计,以热效率和单位输出功率的系统总投资成本(PER)为多目标函数,选取蒸发温度和冷凝温度为决策变量,引入多目标蜻蜓算法(MODA)对工质苯的最佳循环参数进行寻优,采用一维向心透平效率模型取代固定透平等熵效率,并对工质进行敏感性分析。结果表明:透平效率随蒸发温度增加单调减少,随冷凝温度增加单调增加;在帕累托前沿中,随着热效率的增加,变透平效率寻优结果中PER迅速增加,定透平效率寻优结果中PER增加相对较平缓;热源温度越高,定透平效率寻优结果和变透平效率寻优结果差异越大。 相似文献
6.
随着经济的飞速发展,社会对能源的需求日益扩大,对工业废水的无害化处理也提出了更高的要求。光催化燃料电池 (photocatalytic fuel cell, PFC) 在燃料电池中引入半导体光催化材料作为电极,实现了有机污染物高效降解和同步对外产电的双重功能,在废水无害化与资源化利用方面具有潜在的应用价值。半导体光催化电极是PFC系统高效运行的核心组件,增强其可见光响应和光生载流子分离是提高PFC性能的关键策略。反应器结构设计和运行参数优化也有利于改善PFC性能。本文从PFC基本原理和应用入手,综述了PFC在环境污染物资源化处理中的研究进展,并详细阐述了提高PFC的污染控制性能和产电效率的优化手段,为进一步设计高效稳定的PFC系统并实现其在水污染控制和清洁能源生产中的应用提供理论指导。 相似文献
7.
8.
中国饲料业上市公司综合技术效率和全要素生产率分析 总被引:1,自引:0,他引:1
为了研究饲料业上市公司的综合技术效率和全要素生产率,运用数据包络分析法中的BCC模型和Malmquist指数法对12家饲料业上市公司2011-2016年的数据进行了测算,并从静态和动态两方面对其进行了分析.结果表明:只有5家上市公司实现了DEA有效,整体情况一般;从Malmquist指数法来看,在技术进步指标带领下,全要素生产率均值大于1,说明各公司经营管理效率不断上升.根据研究结论,并提出了饲料类上市公司在和种植业、养殖业协调发展的同时,应该提高农业创新力和公司经营管理效率,加快科技成果转化,领会新发展理念,加快新旧动能转换等建议. 相似文献
9.
从区域差异视角出发,研究经济政策不确定性对我国农业上市公司投资效率的影响.研究发现,经济政策不确定性升高时农业上市公司投资效率降低,并且对于中西部地区农业上市公司这一效应更为明显.提出中西部地区农业上市公司要充分考虑市场中的经济因素,把握良好的投资机会并做出最优的投资决策,公司管理层应该正确判断投资项目未来前景,从而提高公司投资效率的建议. 相似文献