不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究

研究了金刚石薄膜在ＷＣ－６％Ｃｏ硬质合金、金属Ｗ和单晶Ｓｉ片上的成核特点。实验结果表明,金刚石薄膜在上述衬底材料上的成核特点和成核机制不同。用于衬底研磨预处理的金刚石微粉粒度对金刚石在单晶Ｓｉ片上的成核密度有较大的影响,而对在ＷＣ－６％Ｃｏ硬质合金和金属Ｗ上的成核密度没有太大影响。