退火温度对ZnO薄膜结构和内应变的影响

采用磁过滤阴极脉冲真空弧沉积技术(pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition,PFCVAD),以Si(100)单晶片为衬底,在衬底温度400℃、氧气压力4×10-2Pa、靶负压400 V的条件下制备了具有c轴取向的ZnO薄膜。采用原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)研究了退火温度对ZnO薄膜     

注入剂量和低温退火对硅离子注入热氧化硅层发光特性的影响

采用金属蒸气真空弧(MEVVA)离子源制得了SiO2:Si辐照层。样品的室温可见PL谱峰位集中在560～700nm的4个谱带;Raman谱表明样品中没有纳米硅晶形成,XPS谱检测到富氧和缺氧两种价键结构。560nm发光中心起源于氧化硅层中的富氧结构缺陷SPR,620～700nm的谱峰均源自非桥氧空穴中心NBO     

椭圆形织构摩擦片在核电站安全制动器中作用机理的数值研究

核电站安全制动器基于高精度、高可靠性设计，而摩擦片是安全制动器功能执行的核心零件，其摩擦性能影响核电站设备的安全性和经济性. 本文作者将椭圆织构应用于安全制动器的摩擦片中，通过数值方法研究了椭圆织构摩擦片在电磁制动器中的作用机理；建立椭圆织构摩擦片分析模型，同时利用有限元法求解摩擦片端面的压力分布情况，并研究了椭圆倾斜角、长细比、织构深度和摩擦面间隙变化对压力分布的影响规律. 结果表明:增加椭圆织构的长细比可以有效地降低摩擦面的磨损；椭圆织构倾斜角为45°时，气膜承载力最大，可以有效降低摩擦面的磨损；椭圆织构太深或太浅均会增加摩擦面的磨损，当深度为1 μm时，可以起到很好的减磨效果；椭圆织构产生较大的气膜承载力从而增大间隙，但气膜承载力随摩擦片间隙增加而减小，因而使摩擦片间隙固定在一定范围，既减少了磨损又保证了设备的稳定运行. 本文中涉及的数值研究为完善电磁制动器中的椭圆织构摩擦片设计提供解决方法，后续在产品样机中应用并通过了寿命试验验证.