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1.
基于MEMS技术的微型惯性导航系统的发展现状   总被引:33,自引:10,他引:23  
根据美国 DARPA(the Defense Advanced Research Projects Agency)资助项目的概况,介绍了微电子机械系统(MEMS)惯性传感器领域的新进展,对 DARPA 的特别项目 MEMS-INS(Inertial Navigation System)的进展状况进行了说明。详细描述了惯性技术、导航技术领域内前沿研究机构研究 MEMS INS 的路线,总结了微型导航技术系统算法的研究现状。最后,对 MEMSINS 的发展进行展望,指出 MEMS INS 的发展方向。过去的发展趋势表明:微型惯性技术将向芯片级的超小型 MEMS IMU(Inertial Measurement Unit)和 MEMS INS 以及组合导航的发展方向。  相似文献
2.
MEMS材料力学性能的测试技术   总被引:27,自引:0,他引:27  
微电子机械系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展。首先按作用方式将实验分成压痕/划痕、弯曲、拉伸、扭转四大类,系统介绍检测MEMS材料微尺度力学性能的微型试样、测试方法及其实验结果.测试材料主要有硅、氧化硅、氮化硅和一些金属.实验结果主要包括基本的力学性能参数如弹性模量、残余应力、屈服强度、断裂强度和疲劳强度等。最后,简要分析了未来的发展需求。  相似文献
3.
微流体驱动与控制技术研究进展   总被引:27,自引:2,他引:25  
随着微流体系统,尤其是生物芯片和缩微芯片实验室(lab-on-a-chip)技术的发展,微米乃至纳米尺度构件中流体的驱动与控制技术越来越引起人们的注意。由于微流体流动的影响因素众多,它的驱动和控制技术,与宏观流体相比,更为复杂和多样化。本文首先结合流体的驱动和控制技术,并着眼于微观与宏观的不同,对微流体的流动特性进行了分析,然后对目前微流体驱动与控制技术的研究进展进行了总结,对各种微流体的驱动和控制技术进行了对比,并对他们各自的优缺点进行了分析和讨论。  相似文献
4.
非极性小分子有机液体在微管道中的流量特性   总被引:24,自引:0,他引:24  
用去离子水及有机液体在内径约为25μm的石英圆管内进行了流量特性实验.液体分子量范围为18~160,动力黏性系数的范围为0.5~1mPa·s.实验雷诺数范围为Re<8.所用有机液体为:四氯化碳、乙基苯及环己烷都是非极性液体,其分子结构尺度小于1nm.实验结果表明,在定常层流条件下,圆管内的液体流量与两端压力差成正比,其压力-流量关系仍符合经典的Hagen-Poiseuille流动.这说明非极性小分子有机液体在本实验所用微米尺度管道中其流动规律仍符合连续介质假设.鉴于微尺度流动实验的特殊性,文中还介绍了微流动实验装置,分析了微尺度流动测量误差来源及提高测量精度的措施.  相似文献
5.
微机械陀螺的发展现状   总被引:21,自引:0,他引:21  
李新刚  袁建平 《力学进展》2003,33(3):289-301
随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,属于MEMS研究内容之一的微机械陀螺,在汽车工业需求的推动下,已经成为过去几十年内广泛研究和发展的主题.微机械陀螺与传统机械式陀螺、固体陀螺、光学陀螺等相比,具有成本低、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点,其精度正不断得到提高,应用领域也随之不断扩大.本文首先简要介绍了微机械陀螺的定义及特征、性能指标、工作原理、分类以及加工技术,随后对已出现的不同类型微机械陀螺的结构、加工方式、工作原理以及性能进行了综述,最后对微机械陀螺的商业化现状以及发展趋势进行了展望。  相似文献
6.
Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论   总被引:17,自引:4,他引:13  
赵亚  王立森 《力学进展》2000,30(4):529-537
微电子机械系统(MEMS)等领域的飞速发展,促使我们迈进了一个表面效应在许多现象中占主导地位的研究领域。本文重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论。通过对两个无量纲数-Tabor数μ(以及其相应形式)和粘着数θ的分析,以及考虑它们对于粘着力的影响,指出了粘着弹性接触理论中所隐含的尺度效应,随着特征尺度的减小,粘着弹性接触中的表面效应愈加明显。  相似文献
7.
微电子机械系统和流体流动   总被引:13,自引:4,他引:9  
Ho.  CM 方新 《力学进展》1998,28(2):250-272
出现于80年代后斯的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器,这些模型转换器与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域,另一方面,由于微米尺度结构表面与体积之比很大,在流体流径这些微小机械器件时,表面效应占据了主导地位,为此需要重新审视动量方程中的各类表面力项,由于它们非常小,气体流动具有很大的Knudesn数,  相似文献
8.
碰撞振动及其典型现象   总被引:10,自引:0,他引:10  
金栋平  胡海岩 《力学进展》1999,29(2):155-163
综棕了机械系统碰撞振动的近期研究成果和碰撞振动的某些典型现象。对碰撞振动的几何与数值分析,以及实验研究作了评述,内容侧重于稳定性、奇异性、擦边诱发分叉,非线性模态等问题,最后,指出了今后研究中面临的一些问题。  相似文献
9.
梳齿式微机械力平衡加速度计   总被引:9,自引:0,他引:9  
讨论了一种梳齿式微机械加速度计,介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析,计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据,试验结果与理论分析能很好地吻合,说明加速度计的性能指标基本达到设计要求,证明这种加速度计的设计是成功的。  相似文献
10.
微电子机械系统中的若干固体力学问题   总被引:7,自引:0,他引:7  
简述了微电子机械系统若干固体力学问题研究的现状,包括:微构件材料的基本力学性能;微构件的力学分析与计算;微系统的失效分析研究;微系统的驱动等,并阐述了微系统力学问题中涉及的表面效应和尺度效应,提出了微系统多类型力作用,多种因素交叉,多学科耦合,非线性突出的特点和研究方向。  相似文献
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