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1.
本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--微悬臂梁阵列的设计和制作,它是SiNx/Au双材料单层膜结构,简化制作工艺、可以直接在空气中成像.实验使用了设计制作的140 × 98微梁阵列和高信噪比的12-bit CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为5K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.  相似文献
2.
微悬臂梁传感技术是微纳传感技术研究的热点,仪器装置的研究也从单悬臂梁向微梁阵列的方向发展。本文针对间距为250μm的商品化微梁阵列,提出了一种实现对其弯曲变形的读出系统光路。利用高精度位移平台调节激光器空间位置,使光束实现微距离上平行,并分别照射在阵列梁的相邻微梁上。用位置敏感探测器对两个微悬臂梁尖端反射的激光信号进行检测,实现系统传感功能。实验验证该光路设计简单易行,针对这一方案实现了两个微梁的信号分离。在微梁上修饰对应的抗体,系统就可以对其抗原行检测。该方案对微梁多阵列传感器研制开发提出了一个新的思路。  相似文献
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