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1.
光刻技术在半导体器件大规模生产中发挥重要作用.今天,多数先进半导体生产都已经应用ArF准分子激光浸润光刻技术.双重图像曝光和侧壁图像转移技术使ArF准分子激光浸润光刻技术延伸到32纳米半节距(HP)器件的制造成为可能.为了制造更小尺寸的器件,必须开发新的制造工艺.极端紫外线光刻是制造22纳米半节距甚至更小尺寸半导体器件的先进下一代光刻技术解决方案.另外,其他技术解决方案,如纳米压印光刻技术和无掩模直描光刻技术等也被考虑用于制造更小节点尺寸的器件,但是目前这些方案仅仅处在研发阶段,而且在现阶段就已经呈现出在大规模生产中的诸多困难.本文从材料的角度对光刻技术进行一个整体描述,并对光刻技术未来趋势进行讨论.  相似文献   
2.
沈礼  野仕伟  戴长建 《物理学报》2012,61(6):63301-063301
提出了一种新方法, 精确确定了稀土Eu原子第一电离阈的位置. 先用脉冲电场对Eu原子的高激发Rydberg态进行延时场电离探测, 再通过反向静电场排除光电离和自电离等其他路径所产生的离子信号的干扰, 观察并研究了Eu原子第一电离阈随着电场移动的规律. 由此所确定的零场下第一电离阈的数值与采用其他方法所确定的文献值[1, 2]相一致, 从而验证了该方法的可靠性.  相似文献   
3.
以夏季和冬季鲢为研究对象,利用胰凝乳蛋白酶能水解羧基端含芳香族氨基酸残基肽键的特性,根据其特异性酶切部位,结合电泳手段来分析肌球蛋白的内部构造差异性。结果表明,与夏季样品相比,冬季鲢的肌原纤维蛋白经酶切生成的肌球蛋白头部S-1较长,在高温下分子量为165 ku的重酶解肌球蛋白HMM容易被再降解成小片段的135 ku HMM,呈现出冬季肌球蛋白的结构不稳定性。在不同温度下加热夏季和冬季肌球蛋白,其ATPase失活速度和酶解肌球蛋白生成S-1的产生量的减少速度呈现一致性,说明酶解生成的S-1只来源于有活性的肌球蛋白。同时,冬季肌球蛋白热变性温度较夏季肌球蛋白要低6 ℃,表明冬季肌球蛋白的不稳定性。  相似文献   
4.
5.
IntroductionThecomprehensivemathematicalmodeldevelopedinthefirstpartofthispaper[1]containsdozensofcoupledequationsthatformalargenonlinearequationsystem.Herewecombineanalyticalandnumericalmethodstosolveitanddiscussandanalyzesomeimportantproblemsinmicroc…  相似文献   
6.
卢耀华  李野 《应用光学》1994,15(2):21-23
介绍用UV光电法测量MCP电子增益时,UV透过金薄膜的附加输出给测量带来的影响,给出了实验结果并进行初步分析,最后指出确保增益测量结果可靠性的途径。  相似文献   
7.
在高温下工作中的结构材料,在长期工作后,其力学性能会下降。本文提出了一种化学腐蚀法,可检验回火脆化,测定材料的晶界腐蚀程度与材料力学性能劣化的定量关系。应用这种腐蚀法,可在现场检测正在使用中的高温结构材料的断裂韧性下降,可对结构的剩余强度和剩余寿命,对结构的可靠性和经济效益作出正确的评价.  相似文献   
8.
在有关噪声问题的社会调查中,由于不同的研究者采用了不同的调查问题和反应尺度,使得这些研究结果难以进行比较和借鉴。为了解决这个问题,ICBEN Team 6提出了制订标准的噪声社会反应测定方法的提案。本文就是在国际噪声联合专家研究结果的基础上,尝试建立中国语标准噪声调查问题和5级噪声反应言语尺度。  相似文献   
9.
通过手性硝基烯胺(4)与α-甲基-δ-戊内酯烯醇锌盐发生加成消除反应解决了倍半萜Capnellene类合成中构筑不对称季碳这个难题,对映体过量(e. e. )为94%。由L-脯氨酸经14步实现了(一)-△~(9(12))-Capnellene类的合成中间体——光学活性5-甲基-8-羟基双环[3 3,0]-2-辛酮(13)的对映选择合成。  相似文献   
10.
本文主要研究了 Yb Bi2 单晶的电阻温度特性、磁化强度和温度的关系以及 2 K时的磁化特性 .实验发现 Yb Bi2 单晶具有金属特征 ;在 1 .8K以上没有表现出超导电性 ;其净电阻率之比高达 3 80 ;Yb Bi2 单晶是一种顺磁质 ;电阻温度特性曲线和磁化强度与温度关系都表明 :Yb Bi2 单晶在 5 5 K左右发生了明显的相变 .  相似文献   
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