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1.
沈钰  李冰冰  马艺  王增林 《电化学》2022,28(7):2213002
随着半导体集成度的不断提高,铜互连线的电阻率迅速提高。当互连线宽度接近7 nm时,铜互连线的电阻率与钴接近。IBM和美国半导体公司(ASE)已经使用金属钴取代铜作为下一代互连线材料。然而,钴种子层的形成和超级电镀钴填充7 nm微孔的技术工艺仍是一个很大的挑战。化学镀是在绝缘体表面形成金属种子层的一种非常简单的方法, 通过超级化学镀填充方式, 直径为几纳米的盲孔可以无空洞和无缝隙的方式完全填充。本文综述了化学镀钴的研究进展,并分析了还原剂种类对化学镀钴沉积速率和镀膜质量的影响。同时, 在长期从事超级化学填充研究的基础上, 作者提出了通过超级化学镀钴技术填充7 nm以及一下微盲孔的钴互连线工艺。  相似文献   
2.
紫外光度法测定药品中抗坏血酸的研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
在微乳液 CTAB- C5H11OH- H2 O体系中对维生素 C(抗坏血酸 )片剂进行紫外分光光度法测定 ,最大吸收波长为 2 6 3nm,线性范围为 0 .86— 17.3μg/ m L。方法操作简便快速 ,准确度高 ,测定结果与药典法相符。  相似文献   
3.
给出了Banach空间的一个增算子不动点定理,将这一定理应用到Banach空间含间断项的二阶非线性脉冲积-微分方程,给出了一类方程的最大解和最小解的存在性定理.应用以上2个定理并通过建立比较定理,讨论了Banach空间含间断项的二阶非线性脉冲积-微分方程的初值问题的最大解、最小解的存在性,并且在应用定理时仅用锥正规,减弱了刘笑颖等提出的锥正则条件.  相似文献   
4.
Biochar is a massively produced by-product of biomass pyrolysis to obtain renewable energy and has not been fully used.Incomplete separation of sludge and effluent and insufficient denitrification of sewage are two of main factors that influence the efficiency of activated sludge process.In this work,we proposed a new utilization of biochar and investigated the effect of biochar addition on the performance of settleability and denitrification of activated sludge.Results show that the addition of biochar can improve the settleability of activated sludge by changing the physicochemical characteristics of sludge (e.g.,flocculating ability,zeta-potential,hydrophobicity,and extracellular polymeric substances constituents).Moreover,the dissolved organic carbon released from biochar obtained at lower pyrolysis temperature can improve the nitrate removal efficiency to a certain extent.  相似文献   
5.
本文制作了基于无栅AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管结构的温度传感器,并对其温度相关的电学特性进行了表征.实验测试了器件从50℃到400℃的变温电流-电压特性,研究了器件灵敏度随着器件沟道长宽比的变化,并研究了在300—500℃高温的空气和氮气中经过1 h恒温加热后器件的电学特性变化.理论与实验研究结果表明,随着器件沟道长宽比的增大,器件的灵敏度会随之上升;在固定电流0.01 A下,器件电压随温度变化的平均灵敏度为44.5 mV/℃.同时,稳定性实验显示器件具有较好的高温保持稳定性.  相似文献   
6.
催化光度法测定痕量锰   总被引:4,自引:0,他引:4  
基于在醋酸和醋酸钠介质中 ,锰对高碘酸钾氧化亚甲蓝褪色的新指示反应建立了一个新的催化动力学测定痕量锰的方法。在最佳条件下 ,用固定时间法 ,可测定 5— 80 ng/ 2 5 m L范围内的锰。应用于水样测定 ,获得了满意的结果  相似文献   
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