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石英音叉作为力传感器广泛地应用于各种扫描探针显微镜,主要涉及石英音叉的同相振动和反相振动两种振动模式.通过实验方法和有限元仿真方法对石英音叉的两种振动模式进行研究,发现石英音叉的双臂之间以及双臂与音叉的基部之间都存在耦合作用,双臂之间的耦合使音叉的反相共振频率升高,双臂与基部之间的耦合使音叉的同相共振频率降低.针对两种振动模式的动态特性建立了石英音叉的机械模型并进行合理简化.简化模型是一个四弹簧三质点系统,计算了简化模型的参数.通过一个音叉臂等效质量变化与音叉反相共振频率变化之间的定量关系证明了简化机械模
关键词:
扫描探针显微镜
石英音叉
振动模式
机械模型 相似文献
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汽轮机叶片叶根、轮槽连接区域常因加工误差及磨损等原因导致接触状态的改变,从而改变整个区域应力分布并大大降低汽轮机的使用寿命。本文运用数字光弹性技术实验测试了长叶片叶根、轮槽在不同接触状态下的应力分布情况,同时结合有限元进行了仿真计算。结果表明,叶根、轮槽对称接触时,全部齿同时接触的应力集中系数最小且分布较均匀;而当部分接触齿产生间隙时,接触状态发生显著变化,应力集中系数明显增大;尤其是当左右齿非对称接触时,最大应力集中系数明显增大且应力分布不均匀。本文研究可为叶根、轮槽的优化设计、加工以及叶片的装配、维护提供实验依据。 相似文献
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扫描电子显微镜(简称扫描电镜)是近十余年朱迅速发展起来的一种大型精密电子光学仪器.它具有以下特点:(1)分辨本领高、景深长、成象富有立体感、试样制备简单;(2)和X光微区分忻仪、俄歇电子谱仪、电子能量损失谱仪、二次离子质谱仪以及通道电子衍射技术等相结合,可以在观察微区形貌的同时,逐点分析试样的化学成份及结构;(3)可用于观察半导体器件的工作状态,检查其失灵原因;(4)可用于研究材料的阴极发光性质,等等.因此它的应用范围日益广泛.自1965年末扫描电子显微镜开始有商品以来,到1973年的短短七、八年内,据不完全统计,全世界已有2500台… 相似文献
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SSX—1型实用扫描隧道显微镜 总被引:3,自引:0,他引:3
本文综述了能够直接观察到单个原子的场离子显微镜、透射电子显微镜、扫描隧道显微镜,报告了SSX-1 型实用扫描隧道显微镜主要特点与改进之处,和开展扫描隧道显微学研究所取得一些结果. 相似文献
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光子扫描隧道显微镜的进展 总被引:4,自引:3,他引:4
介绍我国第一台光子扫描隧道显微镜的研制情况,论述图像分解光子扫描隧道显微镜的原理和光子扫描隧显微的光存储技术的初步设想。 相似文献
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本文所讨论的复合板筒镜电子能量分析器,和通用的筒镜分析器一样,具有二级聚焦和传输率高的优点.其主要特点是:当一次入射束垂直入射于试样表面,激发出的次生电子以喷泉状通过弯曲的轨道绕过试样,重新会聚到试样背后的对称轴上.因此,在用于电子枪位于分析器外的扫描俄歇电子显微镜中作俄歇电子能谱仪时,可以缩短电磁物镜的工作距离,减小物镜的球差系数,增加一次电子束流密度,从而提高俄歇分析的灵敏度.其次,与电子枪在内筒中的简镜分析器相比,可以简化内筒的结构,并便于电子枪的调整. 相似文献
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本文采用一些简化条件,用电子计算机计算了叠加有各种磁场的场发射枪的相对球差系数C_r。Cr表示系统叠加磁场后物方球差系数比只存在静电场时增大的程度。场发射枪采用简化的静电二极管SOC模型;磁场分别为钟形场、单线圈场、双曲函数场、高斯分布场、负幂指数场及磁化球场等。计算了磁场在不同位置及不同磁场半高宽时C_r的变化情况。当磁场峰值位于场发射尖处(系统A),且磁场半高宽为5mm时,叠加这几种磁场后的C_r值均在9以下,以钟形场的值为最小。磁场相同,但峰值处于阴、阳极之间(系统B)时,C_r增大;峰值移到阳极处(系统C),C_r更大。阴极尖的实象,即电子探针的位置,由磁场的激励来控制,可以在很大的范围内变化。文中给出了球差系数与实象坐标间的关系,以及几种磁场模型时系统A与C光学性质的比较。以钟形场系统A的C_r为最小。这种磁浸没系统的优点是球差系数比在纯电场场发的枪后再加一个单独的磁聚光镜系统要小得多。计算表明,在场发射枪高发射电流密度下,这种磁浸没系统在电子探针成象位置距发射尖的距离长达200mm、且在试样周围有很大的自由空间的情况下,当受球差限制的电子探针半径为0.50μm、发射电流密度为10~(10)A/m~2时,可以获得μA量级的电子束流。 相似文献