梳齿式微机械力平衡加速度计

讨论了一种梳齿式微机械加速度计，介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析，计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据，试验结果与理论分析能很好地吻合，说明加速度计的性能指标基本达到设计要求，证明这种加速度计的设计是成功的。