三明治结构微机械静电伺服加速度计稳定性研究

对影响微加速度计稳定性的主要因素（外置偏压和横向加速度干扰）进行了详细分析，给出了最小临界偏压和最大可随横向加速度的计算公式，提出一种具有良好稳定性的四梁中心悬臂式结构。根据Matlab仿真结果，在大量程微加速度计典型结构参数下，惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2000g以上，远远满足实际需求。     

静电伺服微加速度计的量程设计

详细推导了静电伺服加速度计在定极板上施加直流偏压、交流驱动电压，动极板上有反馈直流电压和交流检测电压的情况下，检测质量(动极板)受到的静电力。通过对静电力的分析，得出静电伺服彻。速度计的量程除了受系统能提供的最大静电力限制外，还需满足电刚度小于与机械刚度的条件，该电刚度是极板上所有的直流电压、交流电压产生的电刚度之和。离心实验证明，利用该原则设计的“叉指”结构静电伺服微加速度计的量程达到了设计值。该设计原则可以为此类加速度计的设计提供参考。