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我们生产中遇到几种平行玻璃平板,精度较高,技术条件要求:用干涉法做透射检查,在零件整个抛光范围内不得有肉眼看得见的亮度差异。为了适应这种零件生产的需要,我们作了一个如图1所示的激光干涉装置(我们把它叫做激光平面干涉仪)来进行加工时的检验。用这种方法进行检查时所看到的干涉图样,是被检零件质量的一个综合反映,也就是说,材料折射率的不均匀性、应力消除程度、条纹、气 相似文献
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