钛酸钡薄膜生长初期粒子形态及其反应机理的模拟研究

在激光分子束外延生长钛酸钡(BaTiO₃,BTO)薄膜过程中,初期多粒子碰撞反应过程是薄膜形成的关键过程。本文采用密度泛函理论中的广义梯度近似(DFT/GGA),在PW91/DNP水平上研究了Ba、Ti、O、O₂、BaO、TiO₂以及BTO分子在真空中的优先反应形成与演化过程,计算研究了它们碰撞反应及其中间体的形成机理,获得了相应中间体的几何结构、过渡态及反应活化能,并运用前线轨道理论分析了BTO分子形成机理。对比BTO、SrTiO相似文献