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1.
随着光刻胶厚度的不断增大,制作的光刻图形畸变愈发严重,这极大的影响了微结构器件的性能与应用。针对高深宽比柱状微结构在光刻胶厚度方向上畸变的特点,提出了双面曝光和亮衬线、灰阶掩模相结合的办法,利用遗传算法对失真影响最大的区域进行搜索,光刻胶内部各层的衍射光场分布作为评价函数,对光刻过程引起的畸变进行优化。仿真结果显示,优化后光刻胶各层面型质量得到极大的改善,特征尺寸和边墙角等参数与理论值吻合得更好。优化算法具有很好的灵活性,因此在用于更厚光刻胶、更复杂掩模图形的优化上,具有重要的指导意义。  相似文献   
2.
The symmetric deposition technique is often used to improve the uniformity of sculptured thin film (STF). In this paper, optical properties of STF with the columnar angles 4-/3 are analyzed theoretically, based on the characteristic matrix method for extraordinary waves. Then, the transmittances of uniformity monolayer and bilayer STF in symmetrical style are calculated to show the effect of the bilayer structure on the optical properties of STF. The inhomogeneity of STF is involved in analyzing the differences in transmittance and phase retardation between monolayer and bilayer STF deposited in symmetric style. The results show that optical homogeneity of STF can be improved by depositing in symmetric style at the normal incidence, but it is not the same case as the oblique incidence.  相似文献   
3.
以Fmoc手工固相合成法合成了以多聚赖氨酸为骨架, 表面结合丝组二肽的四分支和二分支树状多肽, 以高效液相色谱提纯, 电喷雾电离质谱表征, 并通过凝胶电泳法研究了其对λDNA的切割活性.  相似文献   
4.
何骏  麻远  赵玉芬 《化学进展》2005,17(3):0-476
树状多肽作为树枝状大分子的一种,具有不同于链状多肽的独特理化特性,在生物学领域中具有广泛的应用.本文简要综述了树状多肽的合成方法,及其在诱导免疫反应、生物分子模拟、免疫诊断试剂、人工酶、药物及基因载体等方面的应用.  相似文献   
5.
采用新型氨基凝胶自燃法成功制备出尖晶石结构MFe_2O_4(M=Ca,Mg,Cu,Zn)纳米晶粉末。对合成粉体样品的物相、形貌和磁性能进行了详细的研究。经能量色散X射线谱分析确定了合成MFe_2O_4粉末的高纯度。系统地研究了所合成的MFe_2O_4纳米晶粉末的磁性能。所有样品的磁滞回线均较窄,表明了它们具有软磁的特征。经测试得出4种铁氧体的饱和磁化强度(M_s)分别为2.1,29.3,24.1和4.2 emu·g~(-1);剩余磁化强度(M_r)分别为0.2,2.3,11.4和0.2 emu·g~(-1)。这4种铁氧体样品的M_r/M_s值均小于0.5。对CaFe_2O_4和MgFe_2O_4两种典型铁氧体的零场冷却和场冷磁性能作了详细的研究。其中CaFe_2O_4样品的磁化强度在75 K以下有不一致的变化趋势,这是由于其发生了磁相变。  相似文献   
6.
采用新型氨基凝胶自燃法成功制备出尖晶石结构MFe2O4(M=Ca,Mg,Cu,Zn)纳米晶粉末。对合成粉体样品的物相、形貌和磁性能进行了详细的研究。经能量色散X射线谱分析确定了合成MFe2O4粉末的高纯度。系统地研究了所合成的MFe2O4纳米晶粉末的磁性能。所有样品的磁滞回线均较窄,表明了它们具有软磁的特征。经测试得出4种铁氧体的饱和磁化强度(Ms)分别为2.1,29.3,24.1和4.2 emu·g-1;剩余磁化强度(Mr)分别为0.2,2.3,11.4和0.2 emu·g-1。这4种铁氧体样品的Mr/Ms值均小于0.5。对CaFe2O4和MgFe2O4两种典型铁氧体的零场冷却和场冷磁性能作了详细的研究。其中CaFe2O4样品的磁化强度在75 K以下有不一致的变化趋势,这是由于其发生了磁相变。  相似文献   
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