西门子法生产多晶硅的热力学

应用有关热力学数据研究了与西门子法相关的“Si-Cl-H”三元系的复杂化学反应，分别绘制了在体系中存在的15个化学反应的Δ_rG_m^?-T图和K_p^?-T图；还给出在不同压强和不同SiHCl₃/H₂初始比例时的平衡气相成分、η-产率随温度的变化图以及在不同的压强下α因数随SiHCl₃初始物质的量的分数的变化图。热力学研究结果表明，高温、低压和小的SiHCl₃/H₂初始物质的量的比对SiHCl₃还原有利；α因数随着SiHCl₃初始物质的量的比x₄⁰的增大而增大。