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CeO2由于其适当的机械性能及高的化学活性,更重要的是其对Si3N4/SiO2的高选择性去除,使其被广泛应用于浅槽隔离化学机械抛光工艺中。本文论述了CeO2基抛光液的抛光机制的研究进展,从CeO2磨料的形貌尺寸、晶体结构、力学性能方面分析了磨料性质对抛光性能的影响,并进一步讨论了CeO2基研磨颗粒及相关辅助抛光技术在CMP应用上的研究进展。以此为CeO2基磨料的可控制备及新型抛光技术的发展提供借鉴,并希望能够促进CeO2基研磨颗粒在抛光工艺中作用机制的揭示,使CeO2抛光液更广泛地应用于材料的平坦化处理中。 相似文献
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开展海洋工程的海冰灾害风险排查工作可以综合评估海洋工程的海冰灾害风险隐患和防御能力.通过对海冰灾害历史案例和风险模式分析,确定了环境条件改变、设计标准不完备、结构抵御能力降低、冰期管理行为不完善等四类海冰灾害的致险原因;初步确定了针对海洋工程设计阶段、运行阶段、应急阶段、灾后防控阶段的风险排查内容;最终给出了风险排查的技术流程. 相似文献
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结合自由Na原子的l-依赖模型势, 采用B-样条基组展开方法计算了等离子体环境中Na原子的的基态能量、振子强度、偶极极化率、四极极化率、八极极化率等随Debye长度的变化. 其中原子的等离子体效应采用Debye屏蔽模型. 计算结果与其他研究者的结果符合得很好; 在Debye屏蔽等离子体环境下下基态能量的结果与Sahoo [Sahoo S Ho Y K 2006 Phys. Plasmas 13, 063301]和Li [Li H W and Kar S, 2012 Phys. Plasmas 19, 073303]用其他模型所得的结果基本一致; 电偶极、四极和八极极化率随Debye长度的变化趋势一致, 数值结果和Li和Kar [Li H W and Kar S, 2012 Phys. Plasmas 19, 073303] 的数量级一致. 相似文献
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甲烷制备方法的改进研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了甲烷制备中存在的问题并进行了改进,结果表明改进后的方法更加合理和实用。 相似文献
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CaMoO4:Eu3+,Bi3+,Li+红色荧光粉的共沉淀制备与表征 总被引:1,自引:0,他引:1
采用共沉淀法合成了红色荧光粉Ca0.75MoO4:Eu0.253+、Ca0.75MoO4:Eu0.25-x3+,Bix3+及Ca0.5MoO4:Eu0.25-2x3+, Bix3+,Li0.25+x+,并采用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱,扫描电镜(SEM)和荧光光谱(PL)测定分析了其结构形貌特征及发光性能。结果表明:制备的CaMoO4:Eu3+,Bi3+,Li+红色荧光粉为白钨矿结构,颗粒尺寸约为0.5~1 μm。掺杂Bi3+的Ca0.75MoO4:Eu0.25-x3+,Bix3+的相对发光强度明显高于未掺Bi3+的Ca0.75MoO4:Eu0.253+荧光粉。Bi3+离子的掺杂将吸收来的能量传递给激活离子Eu3+,起到了能量传递的作用。当Bi3+掺杂量为x=0.005时,在395 nm激发下,主发射峰在616 nm处的相对发光强度最大,但掺杂浓度过高时会出现浓度猝灭现象。另外,电荷补偿剂的掺入能够解决材料中因同晶取代引起的电荷不平衡的问题,以Li+作电荷补偿剂、Eu3+和 Bi3+共掺合成的Ca0.5MoO4:Eu3+0.23,Bi0.013+,Li+0.26红色荧光粉的发光性能强于Ca0.75MoO4:Eu0.253+、Ca0.5MoO4:Eu0.253+, Li0.25+及Ca0.75MoO4:Eu0.243+,Bi0.013+。 相似文献
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合成方法对MCM-22分子筛的结构、性质及催化性能的影响 总被引:5,自引:0,他引:5
在水热条件下分别以动态法和静态法合成了高纯度和高结晶度的MCM-22分子筛.采用N2吸附、XRD、TEM和FTIR等方法研究了制备方法对分子筛的结构及性质的影响.结果表明,动态法合成的MCM-22比静态法合成的分子筛的晶粒小,酸量低.在丙酮一步法合成甲基异丁基酮反应中,静态条件下合成的MCM-22为载体的催化剂的丙酮转化率较高,这是由于该分子筛的酸量较高所致.而MIBK的选择性则呈相反趋势,这可能与动态条件下合成的分子筛粒径小、孔道短有关. 相似文献
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开展了绝对辐射计溯源至低温辐射计的计量技术研究。选用激光作为光源,采用光斑非全覆盖绝对辐射计接收面的辐射功率模式进行校准实验。利用溯源至低温辐射计的陷阱探测器作为标准器定标激光器功率,然后通过替代法将量值传递至绝对辐射计。通过绝对辐射计光阑面积校准,实现激光功率与绝对辐射计测量辐照度的转化。通过对陷阱探测器的校准、绝对辐射计锥腔不同位置空间响应均匀性、锥腔的波长选择性等特性的分析,对实验所用绝对辐射计校准不确定度进行了详细评估,得到的校准不确定度为0.86%(包含因子k=2)。 相似文献
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新型甲烷无氧芳构化催化剂MoO3/MCM-49 总被引:5,自引:1,他引:4
自Bennett[1]等合成出新型分子筛MCM 4 9以来 ,有关其结构及性质研究的报道相对较少 .Ben nett[1]指出 ,MCM 4 9在一些特殊的催化反应上表现出了比MCM 2 2更高的活性 (如在丙烯无氧芳构化反应中 ,MCM 4 9上丙烯的转化率为 7 1 6% ,远大于MCM 2 2的 2 64% ) .MCM 4 9的发现时间较晚 ,且合成相对困难 ,在一定程度上限制了对其性质的进一步研究 .对甲烷无氧芳构化催化反应的研究发现 ,酸性适当且具有交叉十元环孔道体系的分子筛载体表现出了较高的催化活性 .MCM 4 9与MCM 2 2均具有两套互不相通的交叉… 相似文献