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铜在氨水介质铁氰化钾抛光液中CMP的电化学行为研究 总被引:3,自引:1,他引:2
应用电化学测试技术研究了介质浓度(包括pH值)和成膜剂浓度对铜表面成膜及铜抛光过程的影响,探讨了成膜厚度及其致密性与抛光压力、抛光转速的关系,考察了压力及转速对抛光过程的作用,找出影响抛光过程及抛光速率的电化学变量。用腐蚀电位及腐蚀电流密度的变化解释了抛光过程的电化学机理,通过成膜速率及除膜速率的对比得出抛光过程的控制条件。证明了在氨水溶液介质中、以铁氰化钾为成膜剂、纳米γ-Al2O3为磨粒的抛光液配方是可行的,其抛光控制条件为压力10psi、转速300r/min。 相似文献
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采用密度泛函理论研究了FeS2(100)表面原子几何与电子结构.理论计算结果表明:FeS2(100)表面无弛豫、无重构,是体相原子几何的自然终止.与体相电子结构相比,FeS2(100)表面电子特性明显不同,禁带中央产生新的表面态,且表面态局域性强,主要由Fe原子的3d分波贡献.配位场理论定性分析表明:FeS2(100)完整晶面表面态产生机制是Fe原子的配位数减少、局部对称性下降所致
关键词:
密度泛函理论
表面电子结构
FeS2 相似文献
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一个新的分子拓扑指数 总被引:18,自引:0,他引:18
通过将键参数和量子数引入原子点价,重新定义原子点价δiY,认为分子中某一原子的δiY与该原子的杨氏电负性力标、价电子数、成键电子数及最外层主量子数有关.由此提出新的分子拓扑指数mXY.并用一级指数1XY与饱和烷烃的沸点、液体热容、气体热容、蒸发热、临界温度、临界压力,卤代苯的辛醇/水分配系数,烷氧氯硅烷的气相色谱保留指数、含氮杂环化合物的毒性,碱金属卤化物的晶格焓与F心能带,卤化锡的119Sn Mossbauer等性质/活性进行相关关系的研究.结果表明,1XY与有机物和无机物的性质/活性间具有广泛良好的相关性. 相似文献
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N-(2-氨乙基)-月桂酰胺浮选铝硅酸盐矿物的研究 总被引:9,自引:0,他引:9
研究了N (2 氨乙基) 月桂酰胺对高岭石、伊利石和叶腊石等铝硅酸盐矿物的浮选行为.发现该表面活性剂对叶腊石的浮选回收率最高可达97.7%,对伊利石和高岭石的回收率相对较低,一般不超过82%.矿浆pH对高岭石、伊利石和叶腊石的回收率影响较小.酸性矿浆中表面活性剂通过静电引力吸附在矿粒表面;碱性矿浆中,表面活性剂通过氢键吸附在矿粒表面.红外吸收光谱证明,三种矿物表面中均存在-OH;在一个较宽的pH范围内,三种矿物矿浆的Zeta电位均为负值,表明矿粒表面荷负电.矿粒的扫描电镜(SEM)照片(×15000)表明,叶腊石主要呈薄片状颗粒,高岭石和伊利石颗粒呈不规则形状. 相似文献
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电化学研究DDTC在脆硫锑铅矿表面的吸附 总被引:2,自引:0,他引:2
通过循环伏安法、交流阻抗法研究了二乙基二硫代氨基甲酸钠(以D表示)与脆硫锑铅矿的相互作用,在不同的电位条件下呈现出不同的电极过程,从-178—472mV(相对于标准氢电极),脆硫锑铅矿表面主要是DDTC,PbD2,S^0等疏水性物质的吸附,界面电容也比较小,当电极电位高于472mV时,由于PbD2,S^0等疏水性物质被氧化成Pb^2 ,SO3^2-,SO4^2-,PbSO4等亲水性产物,脆硫锑铅矿表面是亲水的,由此推测用DDTC做捕收剂浮选脆硫锑铅矿的电位范围为-178—472mV,最佳电位范围为60—222mV。 相似文献
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