Tm2O3相对于Si的能带偏移研究

利用分子束外延系统在Si (001) 衬底上制备了单晶Tm₂O₃薄膜, 利用X射线光电子能谱研究了Tm₂O₃相对于Si的能带偏移. 得出Tm₂O₃相对于Si的价带和导带偏移分别为3.1 eV± 0.2 eV和1.9 eV± 0.3 eV, 并得出了Tm₂O₃的禁带宽度为6.1 eV± 0.2 eV. 研究结果表明Tm₂O₃是一种很有前途的高k栅介质候选材料. 关键词： 2O₃')" href="#">Tm₂O₃ X射线光电子能谱 能带偏移