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31.
φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究
总被引:3,自引:3,他引:0
于旭东
孙广年
张会选
吕进
王进学
孙亮
《人工晶体学报》
2006,35(1):201-205
采用单晶提拉炉成功生长出φ200mm ×180mm大尺寸Al2O3晶体.探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系,分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因,设计出生长大尺寸Al2O3晶体的最佳工艺条件.
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