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计算多层膜组分和厚度的软件FPMULTI及其应用 总被引:2,自引:0,他引:2
本文简述了可用于多层镀层和多层薄膜成分和厚度同时分析的计算机软件FPMULTI的主要特点。这个基于基本参数法的计算机软件可以分析多至10层,最多含25个元素的各类试样。所需的校正标样可以是纯元素或多元素的薄膜标样,亦可以是纯元素或多元素的块样。本文的研究表明,用FPMULTI的分析结果明显优于检量线法,体现了基本参数法的优点。 相似文献