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深紫外波段是目前常规光学技术的短波极限,随着波长的缩短,深紫外光学薄膜开发面临一系列特殊的问题;而对于深紫外光刻系统这样的典型超精密光学系统来说,对薄膜光学元件提出的要求则更加苛刻。本文主要介绍了适用于深紫外光刻系统的薄膜材料及膜系设计;对薄膜沉积工艺、元件面形保障、大口径曲面均匀性等超精密光学元件的指标保障关键问题进行了讨论;对环境污染与激光辐照特性等光刻系统中薄膜元件环境适应性的重要因素进行了深入分析。以上分析为突破高性能深紫外光刻光学薄膜开发瓶颈,更好地满足深紫外光刻等极高精度光学系统的应用需求指明了方向。 相似文献
22.
23.
《数学的实践与认识》2020,(4)
战役仓库航材保障效能评估是提升空军航材保障水平的重要手段.结合战役仓库航材保障的目标任务,建立了战役仓库航材保障效能评估的指标体系;运用超效率DEA方法构建了战役仓库航材保障效能评估模型,并运用该模型得到了15个战役仓库航材保障效能评估的结果和最终排序;最后以1号战役仓库为例,提出了增强其航材保障效能的改进措施,运行结果表明,改进措施切实有效,能够为提高战役仓库航材保障效能提供科学依据. 相似文献
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25.
26.
通过对复杂保障系统的分析 ,得到了以最优化费用和以最优化保障率为目标的连续时间区间上的随机规划模型 ,并给出了对两类问题的近似解法 相似文献
27.
蔡敬标 《数学的实践与认识》2016,(11):231-235
针对目前装备保障方案优选决策出的方案并不一定是最科学的情况,同时考虑到保障方案中存在小样本数据和数据不确定的因素,提出基于灰色理论和效费比的装备保障方案优选方法,方法着重强调了效费比在决策评判中作用,以免遗漏科学符合工程实践的保障方案.案例分析表明,方法值得在工程实践中借鉴. 相似文献
28.
29.
空间环境 ,特别是日地空间环境是人类航天活动关系极为密切的环境 .文章以“神舟”四号为背景 ,概要介绍了为“神舟”四号飞船所作的空间环境安全保障服务 ,包括在“神舟”四号飞船上进行的空间环境探测、空间环境分布及变化规律的研究、空间环境对人类航天活动及“神舟”飞船的影响 (空间环境效应 ) ,以及为保障“神舟”飞船发射安全、正常运行、顺利返回所作的空间环境预报等 .此外 ,概要评述了国内外上述研究领域的研究现状与进展 相似文献
30.
核武器的扩散日益成为一个重要的国际安全问题。阻止核扩散最重要的途径就是控制裂变材料的生产和利用。由于裂变材料在核动力和核武器方面均有着重要的作用,因而核动力的发展可能引起核扩散。本文主要讨论核动力引起的核扩散问题及安全保障措施。着重分析各种浓缩技术可能引起的核散及转移高浓缩的可能途径;还讨论了民用核动力系统中钚的扩散问题;最后,研究了如何加强国际安全保障的问题。 相似文献