具有纳米级分辨率的超精密定位工作台

柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一种具有较大传动比的定位工作台 ,介绍了其系统结构和工作原理 ,并对刚度性能作了分析。利用双频激光干涉仪对压电陶瓷驱动下的工作台特性进行了测量。结果表明 ,该工作台具有纳米级的分辨率和定位精度。     

功率型压电陶瓷的分类及研究进展综述

功率型压电材料是大功率换能器及压电变压器等的核心功能材料,广泛应用于声纳系统、超声检测、振动控制及其它机电设备等。尽管其组成和制备方法与其他压电材料类似,但特定的使用目的对功率型压电材料提出了特殊的综合性能要求。本文基于对功率型压电陶瓷材料组成的分类归纳,综述了该材料的性能特点、国内外研究进展,并对现存问题和应用前景进行了论述。     

脉冲激光沉积法制备高温压电薄膜0.20 BiInO$lt;sub$gt;3$lt;/sub$gt;-0.80PbTiO$lt;sub$gt;3$lt;/sub$gt;$lt;strong$gt;$lt;font color="#ff0000"$gt;$lt;font color="#ff0000"$gt;（已撤稿）$lt;/font$gt;$lt;/font$gt;$lt;/strong$gt;

采用脉冲激光沉积法制备了0.20BiInO₃-0.80PbTiO₃（20BI-PT）高温压电薄膜,并与0.15BiInO₃-0.85PbTiO₃（15BI-PT）样品进行了比较研究. X射线衍射谱显示,20BI-PT样品100峰出现了明显的劈裂,显示样品具有更高的四方对称性. FESEM图显示,20BI-PT样品中出现了部分111取向的三角形晶粒. 20BI-PT样品的铁电剩余极化（P_r）为～28 μC/cm²,矫顽场（E_c）为～120 kV/cm,相较15BI-PT样品,P_r略有增加,但同时E_c也有增加. 20BI-PT样品的横向压电系数（e_31,f）约为–4.7±0.6 C/m²,和15BI-PT相比几乎一样. 介电温度谱显示,20BI-PT 样品的居里温度比15BI-PT增加了约30 ℃,达590 ℃,且介电峰没有明显的频率依赖性. Rayleigh分析显示,20BI-PT样品中内在本征因素及可翻转畴对介电非线性的贡献和15BI-PT基本相同,但是外在因素的贡献没有15BI-PT的贡献大,这可能和20BI-PT样品中晶粒111相对取向率较高有关. 关键词： 薄膜 脉冲激光沉积 铁电 压电     

ZnO薄膜/金刚石在不同激励条件下声表面波特性的计算与分析

本文首先以刚度矩阵法为基础, 给出了ZnO薄膜/金刚石在四种不同激励条件下的有效介电常数计算公式. 然后以此为工具, 分别计算了多晶ZnO(002) 薄膜/多晶金刚石和单晶ZnO(002) 薄膜/多晶金刚石的声表面波特性, 并根据计算结果及设计制作声表面波器件的要求, 对ZnO膜厚的选择进行了详细地分析. 最后讨论了ZnO/金刚石/Si复合晶片可以忽略Si衬底对声表面特性影响时对金刚石膜厚的要求. 关键词： 声表面波 压电多层结构 有效介电常数 刚度矩阵法     

机器视觉在激光干涉测量d31中的应用

提出一种应用机器视觉技术的激光干涉法, 可以研究压电材料的逆压电系数. 在传统干涉测量法中引入机器视觉实现干涉图像灰度最佳估计, 使用数字图像处理技术, 一方面应用降噪算法有效去除激光干涉图样中的噪声, 从而确定激光干涉场的光强分布, 另一方面将干涉图样的明暗变化进一步转化为可量度的灰度变化以提高测量分辨力. 通过合理设计算法, 该方法中对位移的理论测量分辨力可以提高达一个数量级, 为干涉光波长的1/1024, 因此在逆压电系数d₃₁ 的实验测量中可以有效提高分辨力. 关键词： 机器视觉 逆压电系数 双光束干涉 数字图像处理     

PVDF压电计在低应力下的动态标定

PVDF是一种新型的高分子压电型传感器材料，应用于冲击载荷时，其压电灵敏系数的动态标定是个关键技术．采用改进的SHPB实验技术对低应力下的PVDF压电计的动态K值的标定进行了研究，并分别对3种不同引线方案的PVDF压电计进行了动态标定，发现动态K值的大小与引线面积之间存在一定的关系．     

压电材料中切口/接头端部平面电弹性场奇异性有限元分析

为了对平面载荷作用下压电材料中切口或接头端部附近电弹性场奇异性问题进行分析，首先以应力平衡方程、Maxwell方程和和边界条件为基础，得到一种求解压电材料特征问题的弱式方程；其次，假定楔形切口或接头端部附近单元内位移和电势沿径向分布为指数形式，而周向方向分布则采用泡函数插值，将其代入弱式方程，建立一种只需对楔形切口或接头端部附近周边进行离散的一维简单有限元方法．压电材料的极化轴可以是任意方向．利用该有限元模型讨论了楔形切口角度、极化轴方向和边界条件对奇性场的影响．通过和其它特定情况下的现有解相比，证实了该文有限元数值方法的有效性，而且精度很高．     

中国科学院声学计量测试站通过国家技术监督局计量标准考核和认证

中国科学院声学计量测试站于1988年12月16日至17日按“中华人民共和国计量法”的要求通过了国家技术监督局的计量标准考核和计量认证。通过考核的计量标准有:电声检定标准装置(一级)、水声换能器校准测试装置(一级)和压电加速度计检定标准(二级),由此该站可以进行声学量值的传递,检定标准电容传声器、声级校准器、声级计、标准噪声源、标准水听器及压电加速度计等声学计量器具和带通滤波器、声频放大器等声学测量仪器。通过计量认证的有关产品质量检验的测试项目有:声学实验室(消声室、半消声室、混响室等)性能测试、噪声源(机电产品)声功率级测试、环境噪声和工业噪声测试、厅堂音质测试、水     

沿LiNbO3 y方向的准纵波及其超声非线性系数

本文给出了沿LiNbO₃ y方向的准纵波的非线性运动方程及其解.由于LiNbO₃晶体的二阶弹性常数c₁₄比c₁₁和 c₄₄小很多,沿y方向的准纵波非常接近纯模式,为用超声二次谐波发生技术测量晶体的超声非线性系数和三阶弹性常数提供了一个新的传播模式.对于LiNbO₃(或其它具有3m对称的晶体)从这个传播模式的超声非线性系数,可以确定一个包括c₂₂₂,c₂₄₄,c₁₁₄,c₁₂₄和c₄₄₄5个三阶弹性常数的组合.在准静态近似下,求得了与这个传播模式有关的二阶和三阶弹性常数与压电耦合的关系.用超声二次谐波发生技术测量了该模式的超声非线性系数,并求得了相应的三阶弹性常数的组合.实验和利用其他作者发表的数据计算的结果相符合.