二氧化碳基聚碳酸环己撑酯电子束光刻胶显影工艺优化

电子束光刻是下一代光刻技术中的有力竞争者,在微纳加工尤其是光刻掩膜制造上具有显著的竞争优势。 开发高性能的光刻胶并优化出最佳的显影条件和工艺是提升电子束光刻效率的基础。 本文在前期开发出的二氧化碳基聚碳酸酯电子束光刻胶的基础上,进一步探究了正性聚碳酸环己撑酯(PCHC)胶的显影条件对电子束光刻性能的影响,具体研究了显影剂以及显影温度和时间等工艺条件,筛选出了最优显影剂正己烷,最佳显影温度0 ℃,最佳显影时间30 s。 在该条件下,PCHC的灵敏度和对比度分别为208 μC/cm²和3.06,并实现了53 nm的分辨率,超过了当下广泛使用的PMMA-950k电子束光刻胶,有望为科研院所和半导体加工车间提供一种性能优异、成本低廉的新型电子束光刻胶。     

关于HBV及其药物相互作用的反应扩散方程的参数识别

研究具有反应-扩散现象的HBV及其药物相互作用系统的参数识别问题,依该系统正问题解的性质,建立了参数识别问题的数学模型,论证了系统正问题解关于待识别参数的连续依赖性与参数识别问题最优解的存在性.     

具有时滞和避难所的比率型-捕食者-两竞争食饵模型

讨论了一类具有时滞和避难所的比率型非自治三种群捕食者-食饵模型,运用Liapunov函数方法得到了该模型一致持久和全局渐近稳定的充分条件;并讨论了其周期系统正周期解的存在唯一性和全局吸引性.     

脉冲输入免疫因子的HBV模型的稳定性和持久性分析

提出了一个数学模型,用于研究脉冲投放免疫因子对HBV传染病动力学的影响.通过利用脉冲微分不等式和比较定理,证明了HBV模型的无病周期解的存在性,给出了无病周期解的全局渐近稳定性和系统的持续性的充分条件.研究结果表明:短的投放周期或适当的免疫因子投放量可以导致HBV的清除.     

脉冲输入免疫因子的HBV模型的稳定性和持久性分析

提出了一个数学模型,用于研究脉冲投放免疫因子对HBV传染病动力学的影响.通过利用脉冲微分不等式和比较定理,证明了HBV模型的无病周期解的存在性,给出了无病周期解的全局渐近稳定性和系统的持续性的充分条件.研究结果表明:短的投放周期或适当的免疫因子投放量可以导致HBV的清除.     

数学船型中的超越方程组求解

数学船型是船舶型线的数学表示,在缺乏原型船的条件下可自动生成船舶型线,从而实现数字化设计,满足总体概要设计与虚拟采办的要求.数学船型归为一类特殊的超越方程组.利用分离变量与分层搜索技术,求解超越方程组,并以椭圆形潜艇的型线设计为例,验证了方法的有效性.     

杨氏模量测量的研究性与综合性实验设计

通过测量悬臂梁自由阻尼振动频率等参数来计算梁状材料的杨氏模量.实验通过精心设计,涉及并运用了力传感器、惠斯通电桥、数字存储示波器、计算机接口、快速傅里叶变换和LabVIEW虚拟仪器等知识和内容.