强激光光学元件表面轮廓功率谱密度函数及其估计

 本文在扼要描述了光学元件表面轮廓测量中功率谱密度（PSD）函数的基本概念、公式和应用基础上,重点讨论了光学元件表面低频和中高频空间频率PSD对光场分布的影响,并给出了强激光光学元件表面PSD函数曲线的几个实测结果和分析。