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971.
972.
光纤白光干涉法与膜厚纳米测量新技术研究 总被引:6,自引:3,他引:3
运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术,用光纤反射式干涉光谱仪(Reflectromic Interference Spectroscopy)直接测试宽带入射光在单晶硅表面超薄SiO2膜层前后界面反射形成的干涉光谱曲线,并用专业软件对被测光谱信号数据处理后,可直接用公式准确计算出SiO2氧化膜的厚度和光学折射率通过对单晶硅片表面超薄SiO2氧化膜的实测,并与成熟的椭圆偏振仪测试结果相比,测试误差≤2nm但该方法测试简单、快速,精度高,不需要制定仪器曲线和数表,可对薄膜任意位置的厚度在线测试经过对不同厚度聚苯乙烯薄膜的厚度测试表明,该方法适合0.5~20μm薄膜厚度的精确在线测量,测量误差小于7nm. 相似文献
973.
974.
975.
用毛细管离子分析 (CIA)法 ,采用 10mmol·L- 1咪唑为背景电解质 ,4 0 %甲醇为选择性改性剂 ,在 pH 2 .5、分离电压为 2 5kV、柱温为 2 2℃的电泳条件下 ,采用间接紫外检测 (2 14nm ) ,在5min内测定了人发中铝 ,方法简便、快速、灵敏度高、重现性好、测定成本低 相似文献
976.
977.
中国声学学会1997年青年学术会议于元月1013日在冰城哈尔滨召开,来自全国各地的七十余名代表,克服了经费紧张、旅途不便等许多困难,到会交流讨论了42篇学术论文.本次会议是由中国声学学会主办,黑龙江省自然科学基金委员会与省科协协办.中国声学学会青年工作委员会、哈尔滨工程大学与黑龙江声学学会共同承办的.中国科学院声学研究所田静研究员任会议主席,西北工业大学孙超副教授、哈尔滨工程大学杨德森副教授任会议副干席.青年工作委员会主任委员、西北工业大学马远良教授主持了会议组织委员会的工作.中国声学学会副理事长、南京大学吴文虬教授和哈尔滨工程大学杨士获教授等八位著名学者应邀到会指导,并组成优秀论文评选委员会 相似文献
978.
979.
近年来国家在能源及交通领域中的高投人及快速发展,大量相关工程的兴建,对岩土工程地质调查及施工质量检测不断提出新的要求。这些,为声波检测技术及浅层地震勘探技术的发展提供了机遇。鉴于工程勘查与检测目的的实际需要、声波检测的工作频率日趋拓宽降低,而浅层地震勘探的工作频率则日渐提高,它们为完成同一工程命题在检测手段的改善方面、技术方法的拓宽方面、数据处理的完善方面存在着诸多的共同性,同时又保留着它们各自的特点。于是这便有可能将同出于弹性被理论为依据的两个领域的技术放在一起进行学术交流。鉴于上述情况,经磋商决定:结合举世瞩目的长江三峡水利枢纽兴建中对工程安全监测提出的诸多课题,由中国声学学会检测声学分会 相似文献
980.
扫描探针显微镜在工业产品检测中的应用前景 总被引:3,自引:0,他引:3
讨论了扫描探针显微镜(SPM)的应用领域和SPM的发展现状,重点探讨了国产SPM应用于信息产业、能源产业以及航空航天等工业领域中高新技术产品质量检测的存在、的问题、以及应用的前景。 相似文献