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由于SU-8光刻胶的内应力将会影响高深宽比结构的全金属光栅的制作质量,本文针对近年来SU-8光刻胶应力测量困难的情况,提出了一种基于激光剪切散斑干涉技术的SU-8光刻胶应变分布测量的新方法。该方法通过对被测胶体加载前后两幅干涉图像的处理,直接得到被测胶体结构的全场应变分布情况,由胶体的应变变形数据即可反映出内应力的变化和分布趋势。同时使用ANSYS有限元分析软件对同一被测胶体进行应变仿真模拟研究,获得胶体结构的变形场仿真数据。组建了实验系统,进行了实验验证,结果表明:实际测量变形量约为1.189μm,仿真的最大变形量为1.088μm,测量误差在允许范围内,且测量的形变趋势与仿真模拟结果相一致,表明激光剪切散斑干涉技术可应用于SU-8光刻胶的应变分布全场无损检测。 相似文献
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在高功率准分子激光系统建设中,希望能获得较短的脉冲宽度和尽量多的激光能量。实验研究了不同注入水平下,脉冲时间间隔对脉冲链放大波形和放大器提取效率的影响;基于四能级速率方程和准分子反应动力学建立了准分子激光放大模型,计算了多种注入方式下种子光的放大过程,对关键参数给出了量化描述,得到与实验相符的计算结果。研究结果显示:脉冲序列间隔为9.3ns时,可获得约95%的连续注入情形下放大能量;对该准分子激光系统来讲,9.3ns是比较合适的脉冲间隔。 相似文献
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1.本单元知识点三角函数是基本初等函数,它是描述周期现象的重要数学模型.本单元的学习重点包括:三角函数的概念,三角函数的图象与性质,同角三角函数基本关系,三角函数诱导公式,两角和与差的正弦、余弦、正切公式,二倍角的正弦、余弦、正切公式,函数y=Asin(ωx+φ)的图象,三角函数模型的应用.本单元的学习难点包括:三角恒等变换.2.典型例题选讲例1已知tanα=13,求值: 相似文献
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目的 探讨三维斑点追踪成像(3D-STI)技术在评价甲状腺功能亢进(甲亢)患者左心室整体收缩功能中的应用价
值。方法 选择50 例甲状腺功能亢进患者与45 例健康志愿者,获取心尖四腔心切面动态图像,存储左心室三维全容积动态图像后,运用3D-STI 软件进行脱机分析,得到两组收缩期左心室整体纵向峰值应变(GLS)、圆周峰值应变(GCS)、左心室扭转度角度峰值(LV-tw)、左心室扭力(LV-tor)、左心室心底水平旋转角度峰值(Prot-B)、左心室心尖水平旋转角度峰值(Prot-A)及左心室射血分数(LVEF)等,比较两组三维应变(3DS)指标之间的差异。结果 与正常对照组比较,甲亢组的左心室收缩功能增强,GLS、GCS 分别为(-20.47±3.08)% vs.(-18.52±4.77)%、(-28.98±3.00)% vs.(-25.88±2.12)%,两组差异均有统计学意义(均P<0.05);甲亢组LV-tw、LV-tor、LVProt-A、LVProt-B 均较正常对照组略有增加,但差异均无统计学意义(均P>0.05)。结论 3D-STI 可无
创、敏感检测甲亢患者左心室三维应变,为临床客观评估甲亢左心室收缩功能提供一种新方法。 相似文献
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针对固体介质间隔层的镀膜标准具, 以1 064 nm激光镀膜标准具为例, 首先研究了反射膜堆数对反射带宽、基底厚度以及对自由光谱区的影响:标准具的带宽随着膜层堆数增加而减小, 自由光谱区随着基板厚度的增加而减小;其次研究了基底误差对标准具中心波长定位和透过率的影响, 通过定量数值计算证明了基底误差可通过标准具的使用角度补偿;针对典型的H(LH)m/Substrate/(HL)mH和L(LH)m/Substrate/(HL)mL两个膜系结构, 研究了入射激光发散角对标准具中心波长偏移、通带半宽度、中心波长透过率和最大透过率的影响。随着激光发散角的增加, 中心波长向短波方向移动, 通带半宽度、中心波长透过率和最大透过率呈现下降的趋势, 并且第二个膜系结构的标准具性能优于第一个膜系结构的标准具。 相似文献
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