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基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究 总被引:1,自引:1,他引:0
针对在未做隔离保护处理的环境中,基于Michelson干涉原理的激光干涉仪测量系统存在严重的干扰误差,不适合分步式压印光刻纳米级对准测量的要求.采用Edlen公式的分析及计算,不仅在理论上揭示出环境温度、湿度、气压等变化对激光干涉仪测量准确度的影响,而且证明影响测量准确度的最大干扰源是空气流动的结果.通过气流隔离措施和系统测量反馈校正控制器,能够实时补偿激光干涉仪两路信号的相差.最终,测量漂移误差在10 min内由13 nm降低到5 nm以内,满足压印光刻在100 mm行程中达到20 nm定位准确度要求. 相似文献
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强冲击载荷下自由表面的粒子喷射现象还没有被清楚认识,很难从理论上给以准确的计算模型,因而从实验测定材料在冲击载荷下自由面面喷射物质的分布和粒子尺寸大小就显得非常重要。测量微粒场的脉冲激光同轴全息技术,具有在纳秒或更在短时间内“固化”运动微粒场、测量精度高、景深长、光路简单和获得的信息量大等优点。这些优势使得脉冲激光同轴全息技术成为研究微喷射场的重要测试手段之一。 相似文献
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A G 4.0 dendrimer-like poly (amido amine) (PAMAM) based on silica nanoparticles was fabricated via a divergent approach.It was built from γ-aminopropyi silica nanoparfides (APSN) core via repetitive addition of acrylate (MA) and hexylenediamine (HDA). FT-IR and EA were used to monitor the progress of dendrimer during each step. The amino group content of the resulting product increased from 0.49 to 3.72 mmol/g after the 4th generation. In addition, the percentage of grafting increased with increasing generation and reached to 65.9% after 4th generation. It was found that the resulting silica nanoparticles could be dispersed in methanol with a mean hydrodynamic particle diameter of 152.7 nm although the silica nanoparticles had agglomerated during the storage period. 相似文献
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陈海珍 《宁波大学学报(理工版)》2004,17(4):444-448
选用了钛酸丁酯、硬脂酸和乙二醇作为表面活性剂,采用表面化学修饰和表面物理修饰2种方法修饰纳米氧化钛,然后分散在乙二醇溶剂中形成溶胶溶液.并通过红外光谱仪、紫外分光计、原子力显微镜,分析了表面化学修饰后的纳米氧化钛表面化学结构的变化,观测了纳米氧化钛溶胶在乙二醇溶剂中稳定性.试验结果表明表面活性剂与纳米氧化钛的表面的不饱和键之间形成了新的化学结构,粒子表面可能接枝上有机长链,提高了纳米粒子在溶剂中的相容性.表面化学修饰后的纳米氧化钛与乙二醇溶剂形成了较稳定的溶胶体系,而且纳米溶胶粒径较小.表面活性剂添加量与纳米粒子添加量控制在(1~1.2):1时,可以获得纳米溶胶粒径较小,同时溶胶稳定性较好的纳米氧化钛-乙二醇溶胶体系. 相似文献