热退火处理对AuGeNi/n-AlGaInP欧姆接触性能的影响

本文在n-(Al0.27Ga0.73)0.5In0.5P表面通过电子束蒸发Ni/Au/Ge/Ni/Au叠层金属并优化退火工艺成功制备了具有较低接触电阻的欧姆接触,其比接触电阻率在445℃退火600 s时达到1.4×10–4 W·cm2.二次离子质谱仪测试表明,叠层金属Ni/Au/Ge/Ni/Au与n-AlGaInP界面发生固相反应,Ga,In原子由于热分解发生外扩散并在晶格中留下Ⅲ族空位.本文把欧姆接触形成的原因归结为Ge原子内扩散占据Ga空位和In空位作为施主提高N型掺杂浓度.优化退火工艺对低掺杂浓度n-(Al0.27Ga0.73)0.5In0.5P的欧姆接触性能有显著改善效果,但随着n-(Al0.27Ga0.73)0.5In0.5P掺杂浓度提高,比接触电阻率与退火工艺没有明显关系.本文为n面出光的AlGaInP薄膜发光二极管芯片的n电极制备提供了一种新的方法,有望大幅简化制备工艺,降低制造成本.     

基于正交试验的PECVD法沉积氮化硅薄膜工艺参数优化研究

利用多响应正交试验方法研究了PECVD法沉积氮化硅薄膜的工艺参数的优化问题.鉴于目前针对多输出影响过程,尚无有效的方法进行工艺参数优化这一问题,利用综合评分法对衬底温度、气体总流量、NH3/SiH4流量比、反应腔气体压力、高频电场功率5个对氮化硅薄膜的主要质量特性影响较大的工艺参数进行全局优化,再对不满足质量期望的工艺参数进行部分正交分析,对全局优化的结果进行调整,得到最终的氮化硅镀膜的最优工艺参数.国内某光伏企业的验证试验表明了所提方法的有效性.     

砷化镓金属—氧化物—半导体器件工艺

<正> 一、引言众所周知,用GaAs制作MOSFET,在速度方面比用Si要优越得多,这是因为电子在GaAs中的迁移率是在Si中的五倍以上,而且GaAs的禁带宽度比Si的宽。早在1967年,已做出了几百兆周的GaAs MOSFET[1,2]。但是,后来的发展很慢。其根本原因在于很难做出具有良好界面性能的缘绝层     

煤矿瓦斯变压吸附提纯甲烷的研究进展

因煤层赋存条件和抽采技术水平限制,导致煤矿抽采瓦斯中甲烷(CH₄)浓度偏低,而直接排空处理将造成清洁能源浪费和温室效应加剧,因此研究煤矿瓦斯中CH₄提纯利用途径将对煤炭行业节能减排具有重要意义.相比于其它气体分离提纯技术,变压吸附分离技术具有操作简单、能耗低及工业化成熟度高等诸多优势.本文将以变压吸附分离技术提纯CH₄为核心,重点论述了近些年吸附剂类型、吸附分离机制和分子动力学模拟等方面的研究进展,然后列举变压吸附提纯CH₄工艺优化及工业大规模应用实例,最后结合基础研究和工程应用总结展望了变压吸附技术在CH₄提纯领域的发展前景,并指出低浓度瓦斯(<10%CH₄)提纯及真空变压吸附技术是为进一步提升煤矿瓦斯利用率而亟需攻坚克难的主要研究方向.     

顺酐生产中废水治理方法的改进

目前普遍应用的两种顺酐废水治理方法,生物法和传统真空蒸发法,都存在着运行成本高和不能将废水中有用物质充分回收的缺点.经过对传统真空蒸发法的改进和完善,使顺酐废水的治理既达到零排放的目的,又回收生产了富马酸合格产品,创造了经济效益.     

盐酸奈法唑酮的合成

盐酸奈法唑酮是一类新型抗抑郁药.先用间氯苯胺与二乙醇胺环化合成1-(3-氯苯基)哌嗪,再与1-溴-3-氯丙烷反应制得1-(3-氯丙基)-4-(3-氯苯基)哌嗪盐酸盐,最后与5-乙基-4-(2-苯氧乙基)-1,2,4-三唑-3-酮反应得到盐酸奈法唑酮.产物结构经IR,MS,1H NMR及13C NMR确证.     

《影像科学与光化学》参考文献格式要求

一.专著作者.书名[M].版本(第1版不著录).出版地:出版单位,出版年.起止页码.示例:[1]Griffiths L.Colour and Constitution of Organic Molecules[M].London:Academic Press,1976.25-32.[2]王德海,江棂.紫外光固化材料理论与应用[M].北京:科学出版社,2001.316-319.     

高温超导线圈制备的绝缘技术研究

建立了电热耦合模型,根据热力学原理,以最大温度梯度为目标,对双饼线圈进行了三维有限元分析,为超导磁体的制备选择了一种性能良好的绝缘材料.为了探究仿真选型的绝缘材料对高温超导储能磁体电磁性能的影响,绕制了A、B两个双饼线圈进行了浸渍工艺实验研究,对线圈A、B分别采用了直接浸泡式和真空压力式浸渍进行绝缘处理,与浸渍固化前相...     

天然等同物覆盆子酮的合成工艺研究

以天然大茴香醛和发酵丙酮为起始原料,通过Claisen-Schmidt反应、选择性加氢、脱甲基实验得到天然级覆盆子酮。通过单因素实验和正交实验研究了三步反应的较佳工艺条件为:第一步,在氢氧化钠的作用下,氢氧化钠、大茴香醛以及丙酮的投料比为0.28:1:3,40℃反应1.5 h;第二步,催化剂雷尼镍的用量为1%,氢气压力为0.3 MPa,30℃反应14 h;第三步,以48%的氢溴酸做为催化剂,冰醋酸为溶剂,130℃,反应4h,得到天然级覆盆子酮,总收率:75.75%(以大茴香醛计),含量:98.65%,香气纯正。通过熔点、IR和~1H NMR对最终产物进行了结构表征。此工艺的研究为类似结构不饱和酮的选择性加氢提供了实验依据,且产品总收率较高,成本低,适合工业化生产。     

BIPB缩合液的连续提浓工艺

本发明涉及BIPB缩合液的连续提浓工艺,包括在刮板式薄膜蒸发器中,在约60~80℃的温度和约–0.08~–0.05MPa的压力下对BIPB缩合液进行连续提浓,缩合液在刮板式薄膜蒸发器中的停留时间为约8~12 s,优选为约10 s。通过本发明工艺可以稳定提浓工艺参数;提高提浓效率;简化提浓操作步骤;适当降低提浓温度,预防提浓后期温度偏高,使BIPB处于化学稳定,提高生产安全性。