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61.
DILL上曝光模型和MACK显影模型,编制了接触式曝光系统的厚层抗蚀剂光刻模拟软件,用其分析在理想曝光剂量条件下,抗蚀剂显影后的线宽和侧壁陡度随显影时间的变化规律,分析得出了给定厚度的抗蚀剂的显影时间,为实验工艺上严格控制显影时间提供依据。  相似文献   
62.
基于数字微反射镜灰度光刻的成像模型   总被引:1,自引:9,他引:1  
在深入探讨DMD(Digital Mirror Device)灰度图形传递的特点基础上,把曝光量分布作为分析数字光刻成像的物理量,建立了数字灰度光刻的成像模型.以制作微米量级微透镜为例,通过模拟分析,讨论了数字光刻过程中DMD的工作方式、成像系统参量对抗蚀剂曝光量分布的影响,揭示了数字灰度光刻成像机理,为开展数字光刻实验研究提供了理论根据.  相似文献   
63.
利用表面等离激元短波长和近场增强效应的特性,用多束P偏振态相干光激发表面等离激元(SPPs),并优化干涉光刻的曝光参数,可获得高分辨率、高对比度周期性纳米结构.阐述了多束SPPs干涉法制备纳米光子晶体的原理,并得到了干涉场强度分布随光束增加的关系.随着干涉SPPs数目的增加,干涉场会复杂变化,对此进行了计算机模拟.模拟了三束SPPs和六束SPPs干涉的强度分布,并分析了调制技术干涉曝光结果,该方法适合光电子器件中大范围亚波长的周期性孔阵或点阵结构的制作以及纳米量级光子晶体的的制作,并可以有效降低制作成本.  相似文献   
64.
光学是物理系的一门重要基础课. 1978年高等学校恢复招生以后,百废待兴,摆在我们面前的一个紧迫任务就是对课程进行全面建设和改革,以适应新形势的要求.根据本课程的特点,十年来我们以更新教学内容和改革教学方法为中心,以提高教学质量为目的,在教学内容研究、外国教材研究、教材建设、录像片等电教资料的制作及实验仪器的研究等方面作了一些工作.以下就三个问题谈一点看法,请同志们教正.一、更新教学内容 从本世纪 40年代末开始,特别是 1960年激光问世以后,光学成了物理学中发展迅速并十分活跃的领域.全息术的提出、傅里叶光学的形成、各种…  相似文献   
65.
一、问题的提出 在光学教学中有一个沿用颇久的观点:任何两个独立光源及一光源两部分所发出的光波不能产生干涉。在国内外近期出版的某些光学教材中仍在使用这种讲法,这种讲法是否正确呢?李朝英同志的文章[1]对两独立光源的干涉问题作了很好的讨论,本文拟谈谈我们的看法,请同志们教正。 我们已知,当两列(或数列)光波互相迭加以后,共总辐照度不等于它们单独所产生的辐照度之和的现象,称为光的干涉现象。因此,光的干涉现象能否呈现,一方面决定于光场的相干性,另一方面则决定于用以记录光场的探测器之性质。近廿年来由于激光器和光电器件的惊人…  相似文献   
66.
光刻全息图的蚀刻条件研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
郭永康  郭履容 《光学学报》1992,12(3):52-255
本文提出发展蚀刻二元元件的工艺,其中最重要的是选择适当的蚀速比,它是制作具有连续厚度分布的浮雕型光刻全息图的关键,文中给出了反应功率一定时腐蚀气体流量和蚀刻速率的关系曲线,找到了合适的工作点,根据这些结果,制作成功性能优良的全息光学元件.  相似文献   
67.
FRTH(fractional Fourier transform hologram) is a new kind of hologram that differs from common Fresnel holograms and Fourier transform holograms. Due to the flexibility of zone plate. A method that uses the -1 order diffraction wave of zone plate as the object wave and the 0 order diffraction wave as the reference wave to record FRTH is presented. It provides a new simple way to record FRTH. In this paper, the theory of achieving FRT and recording FRTH using holographic zone plate is presented and experimental results are given.  相似文献   
68.
以4-(2-(4-咪唑)苯乙烯基)吡啶(ISPE)为配体,分别与间苯二甲酸(1,3-H_2BDC)、4,4′-联苯二甲酸(4,4′-H_2BPDC)和4,4′-二苯乙烯二甲酸(4,4′-H_2STDC)及过渡金属盐Cd(NO3)2·4H_2O通过溶剂热自组装形成了3种配位聚合物晶体{[Cd_2(ISPE)_2(1,3-BDC)_2]·DMF}_n(1)、[Cd(ISPE)(4,4′-BPDC)]_n(2)和[Cd(ISPE)_2(4,4′-STDC)(H_2O)_2]_n(3)。并用单晶X射线衍射、PXRD、红外光谱、元素分析、热重等对其进行了表征。单晶解析结果表明:配位聚合物1是二维层状网格结构,配位聚合物2是一个六重穿插的类金刚烷三维网格结构,配位聚合物3是由一维网格结构通过氢键和分子间作用力堆积形成的三维网格结构。另外还研究了它们的室温固态荧光性能。  相似文献   
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