i线投影光刻曝光系统的光学设计

叙述具有同轴对准特性的光学投影物镜双远心结构和均匀照明光学系统原理。为了满足ｉ线光刻所需的光学传递函数要求，讨论了光刻分辨率和数值孔径的关系。设计了一种新的双远心投影物镜，其数值孔径ＮＡ＝０．４２，放大倍率Ｍ＝－１／５，像场尺寸１５ｍｍ×１５ｍｍ（直径２１·２ｍｍ），共轭距Ｌ＝６０２ｍｍ。用光学设计程序ＺＥＭＡＸ－ＸＥ计算此ｉ线物镜的像质。设计结果说明，整个视场内波差＜λ／４，ＭＴＦ＞０．５５，当空间频率为７１５ｐａｉｒｌｉｎｅｓ／ｍｍ，使用波长为３６５士３ｎｍ时。可以实现０．７μｍ光刻分辨率；照明均匀器，由８１个小方型透镜组成一方列阵。用本文模拟计算软件ＯＰＥＮＧ计算被照像平面上的光能分布，说明实际系统的照明不均匀性为土２％。     

应用CoMFA研究磺酰脲类化合物的三维构效关系

用比较分子力场分析 (CoMFA)方法研究了磺酰脲类除草剂结构与活性的三维定量构效关系 ( 3D QSAR) ,并在此基础上对原有分子结构进行修饰改造 ,以获得较高活性的化合物 .并在三维等值线图的基础上得到了此类除草剂作用靶标ALS酶的模拟作用模型 ,为进一步合成出全新结构的ALS酶抑制剂的先导化合物提供了有益的启示和帮助 .     

GLOBAL ATTRACTIVITY IN A DISCRETE MODEL OF NICHOLSON'S BLOWFLIES

ＧＬＯＢＡＬＡＴＴＲＡＣＴＩＶＩＴＹＩＮＡＤＩＳＣＲＥＴＥＭＯＤＥＬＯＦ　ＮＩＣＨＯＬＳＯＮ＇Ｓ　ＢＬＯＷＦＬＩＥＳＬｉＪｉｎｇｗｅｎ（李经文）（ＳｈａｏｙａｎｇＴｅａｃｈｅｒｓＣｏｌｌｅｇｅ湖南邵阳师专,邮编;４２２０００）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｃｏｎｓ...     

整形滤波在远程核四极共振探测中的应用

讨论了数字信号处理中的整形滤波在远程核四极共振里的应用.在个人计算机上用Turbo-Pascal编程语言实现了整形滤波,并用数值模拟谱和实验数据研究了整形滤波技术在提高测量信噪比方面所起的作用.     

离焦散斑错位干涉术的逐点滤波分析与应用

通过相关计算,分析了离焦散斑错位干涉术的逐步滤波方法,得到了杨氏条纹的形成及分布特性。讨论了逐点滤波法的实用意义并给出了在缺陷检测中的应用实例。     

激光驱动NaF等离子体keV能区线谱X光转换效率

本文报道了LF-11 Nd-玻璃激光器件驱动NaF等离子体0.9—1.5nm线谱X光转换实验的理论工作。结果表明:激光(λ=1060nm)功率密度在1×10¹³—3.5×10¹³W/cm~2内变化时,0.2％<ε<1％。对ε随λ的变化也做了讨论。同时,将理论结果与实验做了比较。     

SOI全内反射型光波导电光开关模型研究

根据受抑全反射的光学隧道效应和Ｇｏｏｓ－Ｈａｎｃｈｅｎ位移分析ＳＯＩ全内反射型光波导开关中导模的传输和反射特性。在讨论等离子体色散效应，ｐ－ｎ结大注入效应的基础上，分析了全内反射光波导开关的电学性质。设计了该器件的结构以数和电学参数。     

SERS谱峰强度比与电位的关系

ＳＥＲＳ谱峰强度比与电位的关系顾仁敖，吴芸，乔专虹，姚建林（苏州大学化学系２１５００６）田中群，李五湖（厦门大学化学系３６１００５）ＴｈｅＤｅｐｅｎｄｅｎｃｅｏｆＴｈｅＳＥＲＳＩｎｔｅｎｓｉｔｉｅｓＲａｔｅｏｎＴｈｅＰｏｔｅｎｔｉａｌ￥ＧｕＲｅｎａｏ...     

类He的Y离子双电子复合计算

采用准相对论的多组态Hartree-Fock(HFR)方法计算了类Li的Y离子(Z=39)的能级和振子强度,并且通过采用扭曲波方法计算自由电子的波函数,我们得到了由类He的基态到类Li的双激发态的自电离几率和双电子复合系数。在计算中,相对论质量—速度和Darwin修正都包含在哈密顿中。为了便于等离子体细致能级占据数密度的动力学计算,我们用一个解析表达式来表示作为自由电子温度函数的双电子复合速率系数,这个表达式精确地描写了从类He的基态到类Li的单激发态的双电子复合。