光子扫描隧道显微镜的光电成像系统研究

本文论述了光子扫描隧道显微镜（ＰＳＴＭ）的显微成像机理、成像规律，针对具体的物理模型进行数值模拟计算，并得到了与实际探测相一致的场分布规律。采用自行研制的光子扫描隧道显微镜（ＰＳＴＭ）的显微实验系统对多种样品进行了表面显微成像研究，获得了关于样品表面三维立体图像信息，通过多种图像处理手段对原始图像进行后期处理，得到了更具视觉效果、更为逼真的样品表面图像。     

电子扫描深能级瞬态谱(SDLTS)测量系统及其应用

本文报导了在ＪＸＡ—３Ａ电子探针上，研制了电子束感生电流装置、电子束消隐装置、可微动低温样品台以及超慢速电子来扫描装置，配置Ｂｏｘｃａｒ平均器。成功地开发了电子束扫描深能级瞬态谱测量系统，它的温度范围为８０—４５０Ｋ，空间分辨率约１０μｍ，测量稳定度为１．５％。对ＧａＡｓ和Ｓｉ中的深能级及其空间分布进行了测量，并与其结构缺陷进行了对比研究。     

扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜联用装置

在ＫＹＫＹ－１０００Ｂ型扫描电子显微镜上所开发的与其联用的袖珍型扫描隧道显微镜主要有四个部分：（１）减震阻尼装置,（２）隧道探针,（３）探针扫描与逼近装置,（４）电子控制与图象采集系统。它的分辨率约为１ｎｍ,并用它观察了半导体光栅与硅上金膜的细微结构。     

电子扫描深能级瞬态谱(SDLTS)测量系统及其应用

本文报导了在ＪＸＡ－３Ａ电子探针上，研制了电子束感生电流装置、电子束消隐装置、可微功低温样品台以及超慢速电子束扫描装置，配置Ｂｏｘｃａｒ平均器。成功地开发了电子束扫描深能级瞬态谱测量系统，它的温度范围为８０－４５０Ｋ，空间分辨率约１０μｍ，测量稳定度为１．５％。对ＧａＡｓ和Ｓｉ中的深能级及其空间分布进行了测量，并与其结构缺陷进行了对比研究。