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相似文献
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1.
张涛  吴一辉  杨建成  张平 《化学学报》2008,66(21):2434-2438
为了研究N’,N’-二乙基硫脲添加剂在微沉积工艺中对铜金属孔洞填充能力的影响, 采用线性伏安法(LSV)、循环伏安法(CV)、SEM测量法分析比较了无添加剂、含硫脲和含N’,N’-二乙基硫脲添加剂时微沉积铜工艺中的电化学行为, 并借助塔菲尔方程, 分析比较此三种情况下电镀反应过程中的电极动力学参数. 结果显示: 当铜微沉积工艺中加入N’,N’ -二乙基硫脲添加剂时, 产生活性极化, 该活性极化效应降低铜离子的放电速度, 抑制孔洞边缘部分沉积较快区域的过快生长; 同时活性极化提高, 将导致成核点的增加, 沉积膜的晶粒较小, 镀膜也较平滑细致, 实验测得铜离子的平滑能力比没有添加剂时提高约50%. 最后通过微沉积工艺成功地将金属铜填充入宽为10 μm, 深宽比为4∶1的微型凹槽中, 且镀层内没有空洞、空隙以及细缝等缺陷.  相似文献   

2.
本文用循环伏安法发现了中性载体ETH129(N, N, N', N'-四环己基-3-氧杂-戊二酰胺)在水/硝基苯界面推动H^+, Li^+, Na^+, Zn^2^+, Mg^2^+, Cu^2^+的离子转移,对推动离子转移过程的机理进行了探讨, 测定了相应离子的扩散系数和其配合物的稳定常数。  相似文献   

3.
董云会 《电化学》1999,5(3):342-347
铜的电解精炼中硫脲是一种重要的有机添加剂,它对铜阴极电沉积质量的影响已早有报道[1,4],但硫脲及其衍生物对铜阴极电沉积过程的影响尚未见报道.为此,我们采用线性电位扫描法、循环伏安法、XRD测试技术,研究了在铜电解液中分别添加硫脲、丙烯基硫脲或苯基硫脲等,对阴极铜沉积过程及其电化学参数i0,αn,Id产生的影响,实验采用的电解温度及铜、酸含量均以电解铜实际生产的条件给定.1 实 验采用三电极体系,阴、阳极均由含铜99.98%的纯铜片制备,面积1×1cm2,参比电极为饱和硫酸亚汞电极.电解前用1~…  相似文献   

4.
合成了一种新型的巯基化合物,在金电极上形成自组装膜,以循环伏安法和电化学阻抗法(EIS)对自组装膜进行表征,基于其末端的氨基对铜离子的配位效应,实现了对铜离子的快速检测,并优化了沉积时间、pH、静止时间、沉积电压等检测条件.同时研究了铜离子与人血清白蛋白的相互作用.结果表明,该组装膜在2×10-7 ~2.5×10-3 mol/L范围内对铜离子有线性响应,检出限为0.05 μmol·L-1,其与蛋白的结合常数为2.20×103 L/mol.银离子、锌离子等对铜离子的测定几乎没有干扰.  相似文献   

5.
以丙烯酸(AA)为单体,EDTA二钠为改性添加剂,过硫酸铵(APS)/亚硫酸钠为氧化还原型引发剂,N,N'-亚甲基双丙烯酰胺(NMBA)为交联剂,采用水溶液聚合法合成EDTA改性高吸水树脂。发现使用改性添加剂EDTA二钠能够使改性高吸水树脂的吸附铜离子性能明显增强。通过正交实验和单因素实验进行条件优化,得出改性高吸水树脂对重金属铜离子吸附性能最佳的工艺条件为:以15 mL的丙烯酸为基准,反应温度为65℃,单体质量分数为23.08%,中和度为65%,改性添加剂质量为0.4 g,交联剂和引发剂质量分别为聚合单体质量的0.9%和1.5%。在最佳工艺条件下,制备的改性高吸水树脂常温下在0.1mol·L~(-1)的硫酸铜溶液中吸附铜离子量达到225.18 mg·g~(-1)。  相似文献   

6.
朱永春 Cla.  RHJ 《电化学》1995,1(4):427-431
循环伏安量热法研究了欠电位沉积条件下,铜在LiClO4溶液中,铂电极上的电沉积过程,循环伏安热谱图和循环伏安微分热谱图表明,铜离子的电沉积为-放热过程,其中铜-铂(层)相互作用能为-3227.0kJ/mol.沉积铅的电氧化包括了吸热的活性和放热的氧化两个过程,活化过程的焓变为747.0kJ/mol,氧化过程的焓变为-189.9kJ/mol,与热力学数据一致。  相似文献   

7.
殷列  王增林 《电化学》2008,14(4):431
研究了在酸性镀铜溶液中添加不同分子量的PEG对直径为50微米、深径比为1的镀层盲孔填充效果的影响.结果表明,随着PEG分子量的增加,电镀铜溶液的微孔填充力明显提高.电流密度为2 A/dm2,添加剂PEG分子量(u)超过6000时,镀液可以完全填充盲孔,镀层不出现任何空洞和缝隙.这是由于添加剂PEG能明显加强电镀铜镀液阴极极化,抑制了电镀铜的沉积.同时,PEG于镀液中的扩散系数还随其分子量的增加而降低,从而增加了SPS在微孔底部的吸附力,加速了电镀铜在微孔底部的沉积.进一步,增大PEG分子量,沉积铜膜的表面粗糙度、铜膜结晶度和电阻率均有所降低.  相似文献   

8.
超级化学镀铜填充微道沟的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
杨志锋  高彦磊  李娜  王旭  殷列  王增林 《化学学报》2009,67(24):2798-2802
超级化学铜填充技术不仅可以应用于半导体超大集成电路铜互连线, 而且可以应用于三维封装. 研究了不同浓
度、不同分子量的PEG 对以甲醛为还原剂的化学镀铜溶液中铜的沉积速率的影响. 随着添加剂PEG 浓度和分子量的
增大, 化学铜的沉积速率明显降低. 电化学研究结果表明PEG 通过抑制甲醛的氧化反应降低化学铜的沉积速率, PEG
分子量越大, 对化学铜的抑制作用越强. 利用PEG-6000 对化学铜的抑制作用和在溶液中低的扩散系数, 采用添加
PEG-6000 的化学镀铜溶液, 成功地实现了宽度在0.2 μm 以下微道沟的超级化学填充. 就PEG 的分子量、微道沟的深
径比等因素对超级化学铜填充的影响也做了研究.  相似文献   

9.
采用恒电流和恒电位方法,基于含有氯化铜溶液的乙二醇-氯化胆碱或硫脲-氯化胆碱离子液体,室温下在钢阴极上进行了铜的电沉积. 利用扫描电子显微镜和X-射线衍射技术研究了各种实验条件对电沉积的影响以及沉积层的形貌. 结果表明,室温下施加不超过-0.45 V的沉积电位和不超过-4.0 A·m-2的沉积电流密度,可以同时从氯化胆碱基乙二醇和硫脲离子液体中沉积得到非常光滑、有光泽、致密且具有良好结合力、色泽鲜艳的铜金属涂层. 铜的电沉积阴极电流效率约为97%.  相似文献   

10.
焦磷酸盐电镀铜初始过程研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
冯绍彬  商士波  冯丽婷 《电化学》2005,11(2):228-231
应用恒电流法研究了铁基体上焦磷酸盐电镀铜电位时间变化类型与镀层结合强度之间的关系.提出了临界起始电流密度(DKC)概念.当起始工作电流DKI大于DKC时,铁电极首先被极化至铁表面的活化电位,即基体表面被活化,随后极化至铜的析出电位,使铜层沉积在活化的铁基体表面上,形成具有良好结合强度的铜镀层.反之,如DKI小于DKC,则铜层只能在"钝化"的含氧层表面上析出,得到的镀层结合强度很差.由氩离子溅射深度刻蚀和X射线光电子能谱(XPS)检测出结合强度差的镀层和基体间界面含氧层的存在.调整工艺条件,优化了焦磷酸盐直接镀铜工艺,可降低工艺的DKC,得到与铁基体具有良好结合强度的电镀层.  相似文献   

11.
利用手持技术改进测定乙醇分子结构实验   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用压强传感器代替排水集气法,改进测定乙醇分子结构实验的仪器装置,并探索最佳反应条件。另外,设计两个空白实验,结合压强变化曲线对实验误差进行相关讨论。  相似文献   

12.
13.
非那雄胺能抑制5α-还原酶的活性,明显降低二氢睾酮水平,是一种治疗良性前列腺增生的有效药品。该合成工艺以甾烯酮酸为原料,将其与氯化亚砜反应,无须分离即与叔丁胺反应得17β-酰胺化合物,再氧化开环,环合,氢化,脱氢合成了非那雄胺。经元素分析、IR、1HNMR、13CNMR、MS分析表征了其结构。该法无须使用昂贵的2,2-二吡啶二硫化物和剧毒药品苯亚硒酸酐,且以乙酸铵代替氨气,降低了对设备的要求和腐蚀,更适用于工业生产。  相似文献   

14.
Sets of hydrogen molecule equivalents have been developed which permit the calculation of hydrogenation of different types of carbon-carbon bonds from ab initio total energies (3-21G and 6-31G* basis sets, and, to a more limited extent, for MP2/6-31G* data) of reactants and products. The calculated enthalpies of hydrogenation are in good agreement with experiment for unstrained molecules, with average errors on the order of 2 kcal/mol. The 6-31G* equivalents allow the enthalpies for strained molecules to be calculated accurately, but the 3-21G equivalents do not. The equivalents for both basis sets have been tested by calculating the enthalpies of hydrogenation of carbon-carbon bonds in nitrogen- and oxygen-containing organic molecules, free radicals, and classical carbocations. The results are in good agreement with experiment in most cases.  相似文献   

15.
16.
由于石化行业的生产需要,其材质的使用具有多样性和广泛性,经常会出现顾客委托的测试样品的一个或几个元素跨越光谱仪现有测试程序测量范围的情况。本法通过对光谱仪测试原理的认识,根据光谱仪的测试能力及标样的采集,实现了一个或几个元素测量范围的扩展,并对其测量的影响因素进行了研究。  相似文献   

17.
The compositions of the neutral diterpenoids of the oleoresins of five species of conifers growing in the Transcarpathia have been studied. It has been found that the oleoresins ofAbies alba M.,Larix decidua M., andPicea excelsa L. contain more than 50% of neutral diterpenoids. The group and qualitative compositions of the oxygen-containing diterpenoids have been determined. In the oleoresins ofAbies alba,Picea excelsa, andPicea abies tertiary alcohols — cis-abienol and isocembrol — predominate, while inLarix decidua the main component is the hydroxy ester larixyl acetate. Primary alcohols related to the resin acids have been found in all the oleoresins investigated. Features of the distribution of diterpenoids according to the species of conifers have been revealed. The results obtained are necessary for the chemotaxonomy of conifers of the family Pinceae.Novosibirsk Institute of Organic Chemistry, Siberian Branch, Academy of Sciences of the USSR. Translated from Khimiya Prirodynkh Soedinenii, No. 6, pp. 812–816, November–December, 1988.  相似文献   

18.
The compositions of the neutral diterpenoids of the oleoresins of five species of conifers growing in the Transcarpathia have been studied. It has been found that the oleoresins ofAbies alba M.,Larix decidua M., andPicea excelsa L. contain more than 50% of neutral diterpenoids. The group and qualitative compositions of the oxygen-containing diterpenoids have been determined. In the oleoresins ofAbies alba,Picea excelsa, andPicea abies tertiary alcohols — cis-abienol and isocembrol — predominate, while inLarix decidua the main component is the hydroxy ester larixyl acetate. Primary alcohols related to the resin acids have been found in all the oleoresins investigated. Features of the distribution of diterpenoids according to the species of conifers have been revealed. The results obtained are necessary for the chemotaxonomy of conifers of the family Pinceae.  相似文献   

19.
实验教学目的是从解决实际问题出发,以实验技术训练和实验设计思想培养为目标。介绍了将单一的物质分配系数测定实验改进为综合实验,提高了实验效果及实验资源利用率。  相似文献   

20.
The spectral-polarization characteristics of absorption and phosphorescence of molecules of the initial form of nitro-substituted indolinospirobenzothiopyran were studied in oriented polyethylene films and in solutions with different polarity. An oscillator model of the electron transitions responsible for the formation of absorption and luminescence spectra was suggested. It was established that the principal differences in the spectral and photophysical properties of the compound studied and its oxygen-containing analog are associated with the fact that the electronegativity of the S atom is lower than that of the O atom. Translated fromIzvestiya Akademii Nauk. Seriya Khimicheskaya, No. 6, pp. 1143–1146, June, 1997.  相似文献   

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