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相似文献
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1.
膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响   总被引:3,自引:2,他引:1  
讨论了膜厚监控系统的光谱宽度对波分复用窄带滤光片特性的影响,分析了监控过程中所出现的信号异常现象,其主要原因是控制光光谱宽度以及控制波长与滤光片中心波长不一致,所以控制光光谱分辨率必须小于单个法布里-珀罗滤光片最后2层膜折转点波长宽度的一半,即对100GHz的滤光片,监控系统的光谱宽度必须小于0.2nm。一旦产生中心波长偏离,就必定产生厚度控制误差。讨论了高折射率膜和低折射率膜的信号变化规律,发现当中心波长比监控波长长时,虽然信号变化规律正确,但判读到极值时的膜厚变薄。中心波长偏离越长,厚度将越薄。而当中心波长比监控波长短时,信号将出现反转。中心波长越短,反转量越大。最后指出了监控误差对滤光片Tmax和半峰全宽的影响。  相似文献   

2.
针对光电极值法和石英晶振法各自的弊端,结合两种方法提出了光控-晶控膜厚监控法.在相同工艺条件下,分别使用这三种方法监控905nm窄带滤光片(规整膜系)和830nm截止滤光片(非规整膜系)的膜厚,对制备的滤光片的透射率光谱曲线进行比较.结果表明,光控-晶控膜厚监控法除了各项指标都符合要求外,在曲线通带处获得的平均透过率值比光电极值法和石英晶振法获得的平均透过率值提高了3%~6%,且与理论光谱基本吻合,光谱特性最好.该方法不仅对规整和非规整膜系都能进行监控,且能有效降低膜厚误差,提高光谱特性.  相似文献   

3.
直控极值法具有自动补偿各层膜的光学厚度的优点,至今仍被人们广泛采用.但在镀制窄带滤光片的最末几层时,有时会因出现反常现象而带来巨大误差,甚至失灵.本文用电脑模拟了滤光片的镀制过程,分析了出现反常现象的原因,从而提出了改进及消除这种现象的措施.结果表明:可以用带宽小于所镀滤光片的通带半宽度的光束来进行膜厚监控.  相似文献   

4.
常敏  华博  张学典  江旻珊 《光学技术》2017,43(2):184-186
光电极值法是光学薄膜厚度监测的常用方法,该方法在镀膜前引用块状材料的折射率设计膜系。而在实际镀制过程中,用于镀制光学薄膜的材料折射率会发生改变,从而给膜厚的监控带来误差。为了避免折射率变化的影响,采用外差干涉法测量折射率,将实际测得的薄膜折射率应用光电极值法监控薄膜的设计,从而减少了因材料折射率的变化引起的误差。以750nm截止滤光片的镀制为被测对象进行了实验,对制备的滤光片透射率光谱曲线进行了比较。结果表明,实际的透射率曲线与设计的透射率曲线吻合较好,两次实验曲线平均吻合度均在98%以上,系统稳定性很好,从而说明结合外差干涉法的光电极值监控法可以很好地克服折射率变化引起的误差。  相似文献   

5.
用于波分复用系统的多峰干涉滤光片   总被引:10,自引:7,他引:3  
介绍了用于波分复用系统的多峰干涉滤光片的设计原理,提出了滤光片透射峰位置的确定方法,讨论了影响滤光片半宽度和截止度的因素,给出了滤光片的膜厚容差分析结果,表明透射率监控标准偏差在<0.5%范围内,可以得到波形良好的多峰滤光片,最后给出了实验结果.  相似文献   

6.
石英晶体振荡法监控膜厚研究   总被引:11,自引:7,他引:4  
给出了石英晶体振荡法监控膜厚的基本原理,在相同的工艺条件下分别用光电极值法和石英晶体振荡法监控膜厚,对制备的增透膜的反射光谱曲线进行了比较,并对石英晶体振荡法的监控结果做了误差分析.结果表明:石英晶体振荡法不仅膜厚监控精度高,而且能监控沉积速率,获得稳定的膜层折射率,从而有效地控制薄膜的光学性能.  相似文献   

7.
DWDM用薄膜窄带滤光片的容差特性模拟分析   总被引:1,自引:1,他引:0  
杨毓铭  顾培夫  刘旭 《光子学报》2003,32(3):352-356
讨论了用于DWDM系统的薄膜窄带滤光片在镀制过程中的监控方法及误差产生的机理,利用自行建立的计算机膜厚容差模拟程序,分析了多FabryPerot腔窄带滤光片的容差特性.发现多腔窄带滤光片各腔的误差灵敏度与腔的位置有关,且各腔间隔层组成材料不同,其对误差最敏感的膜层位置也不相同.  相似文献   

8.
张青峰  朱永田 《光学技术》2007,33(1):150-152
利用体相位全息光栅的优良特性,研制光栅式密集型波分复用器(DWDM)。准直后的信道波长通过体相位全息光栅两次衍射,在焦面上实现信道波长的分复用。阐述了体相位全息光栅的独特结构特点,给出了体相位全息光栅式密集型光波分复用器件的原理图,计算出各个信道的位置及间隔,用Zemax仿真出设计模型。相比于薄膜滤光片式器件而言,具有许多独特的优良特性,能够实现更密集更多信道数量的分复用。  相似文献   

9.
<正> 一、引论当蒸发一个单层透明膜的时候,每当蒸发的薄膜厚度达到λ_0/4的整数倍时,在λ_0波长处的透过率T或反射率R就会达到极值,光电监控仪的信息就会出现一个反转点。当多层膜的所有膜层都是λ_0/4型时,都会有此现象。利用光学薄膜的这一性质监控薄膜厚度的方法,人们一般称之为“极值法”。极值法监控可以分为两大类:一类是直接监控,即所有膜层都是直接地在所生产的元件上施加监控;另一类是间接监控,这时的监控是在一系列的比较片上进行。直接监控的好处在于所监控的就是  相似文献   

10.
倾斜入射时薄膜窄带滤光片的s和p偏振光的带宽会随着入射角度的增大出现分离,限制了滤光片的调谐范围。分析了偏振光带宽分离现象出现的原因和其与滤光片镜层膜系结构的关系,并得到了消除偏振光带宽分离现象的方法。根据该方法对前期设计的100GHz密集波分复用(DWDM)系统四腔角度调谐窄带滤光片进行了改进,结果表明,该方法能有效的解决偏振光带宽的分离问题,扩大调谐范围。  相似文献   

11.
借助于VC 编程从理论上模拟分析了膜厚监控误差以及监控片不均匀性对光学膜厚监控的影响。结果表明,膜厚监控误差和监控片的不均匀性都对监控曲线有影响;随着膜层层数的增加,监控片不均匀性逐渐增大。实验制备了多层规整薄膜并对其监控曲线进行了分析,分析表明考虑到膜厚监控误差和监控片不均匀性后计算的光学监控曲线和镀膜过程实测光学监控曲线吻合较好。这说明膜厚监控误差和监控片不均匀性是引起监控曲线与理论值偏离的重要因素。介绍了如何计算考虑膜厚监控误差和监控片不均匀性后的理论监控曲线。这将对膜厚自动监控,尤其是对非规整膜系的自动监控具有重要的指导意义。  相似文献   

12.
针对由器件光谱特性引起的光栅光谱仪测量误差问题,提出了一种误差校正方法,并对该技术中的理论模型、数值提取算法和精度、误差校正精度进行了研究。首先,在深入剖析光栅光谱仪工作原理的基础上,建立了光谱误差校正的理论模型;其次,在研究光栅、探测器、反射镜等核心器件光谱特性曲线典型特征的基础上,提出了器件光谱响应参数提取算法,并对该算法的精度进行了实验研究;最后利用本文所建立的理论模型和数值提取算法对光栅光谱仪测得的溴钨灯光谱进行了校正,并将校正后的结果与溴钨灯标准谱线进行了比较。实验结果表明,本文所提出的数值提取算法的平均误差为0.39%,校正后的光谱曲线与溴钨灯标准光谱曲线一致,说明本文所提出的校正技术能够有效消除器件光谱特性引入的误差。  相似文献   

13.
1 Introduction  Recentlyopticaldisksabletostorealargequantityofinformationhavebeenusedascompactdisk (CD ) ,digitalversatiledisk(DVD) ,andtheirrecordableorrewritabletypes(suchasCD R ,CD RW ,DVD R ,andDVD RAM ) [1 ] .Anopticaldiskisakindofmultilayersystemdepositedona…  相似文献   

14.
It is difficult to exactly control the film thickness of optical disk multilayer in the actual coating process. The thickness error becomes a main factor affecting the optical characters of the film system. The thickness error′s sensitivity factor of dielectric optical multilayer is derived from the optical matrix in this paper. The effect of the thickness error on the reflectivity or reflectivity contrast of the optical disk multilayer is analyzed with a numerical calculation. The sensitivities to thickness error for different layers or in different film-thickness ranges are compared and discussed. A sketchy method defining allowable thickness error is given. Some experimental results verify the applicability of our theoretical analysis.  相似文献   

15.
赵丽  赵宇明  万长明 《光学技术》2003,29(4):445-448
柱透镜光栅的计算机辅助立体成像的基本原理是将二维序列图像进行切分和重组,使之以三维模型的形式展现,使合成的图像在柱透镜光栅下观察时具有"纵深感"。该项技术在广告、摄影、电影制作中具有广泛的应用。但是长期以来,在图像切分时并不能保证像素一定被整除,这意味着剩余像素的出现,合成的立体图像必然存在误差。如何处理剩余像素的问题一直是个难题,阻碍了该技术的推广。针对立体图像生成方法中的剩余像素问题,详尽地分析了误差的形成,并提出了强行取整算法和误差分散算法两种误差处理方法。实验表明,这两种算法能较好的处理剩余像素,增强了合成图像的立体效果,这将有助于立体成像技术的进一步推广。  相似文献   

16.
GFFs with less than 0.4 dB peak-to-peak error functions are routinely fabricated using commercially available coating machines by utilizing the natural error compensation mechanism of wavelength variable turning point optical monitoring method.  相似文献   

17.
改进WKB近似的新方法   总被引:4,自引:2,他引:2  
曹庄琪  詹黎 《光学学报》1997,17(11):554-1558
利用转移矩阵理论,在考虑层间一次反射和转折点处实际相移的基础上,导出了改进的WKB公式,数值计算的结果表明本文所得公式的精度远优于传统的WKB近似,而且能适用于接近于截止的模式和变化剧烈的折射率分布。  相似文献   

18.
The segmented filters, based on spectral cutting, proved their efficiency for the multi-correlation. In this article we propose an optimisation of this cutting according to a new error diffusion method.  相似文献   

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