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相移干涉计量中相移器的同光路自动标定 总被引:1,自引:1,他引:0
基于相移干涉计量的基本原理,提出用相移ESPI光场的空间平均方法计算相位,不仅可实现相移干涉计量中相移器的同光路自动标定,而且还可以得到测量光场及所用相移器的计量特性.最后,将该标定方法所得相位值与等间距条纹相位标定值进行了比较,得到两者相对误差在可用电压区域内小于3%. 相似文献
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平行式向列液晶实现相移剪切电子散斑干涉术的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
研究了向列型液晶的相位调制特性,采用平行式向列液昌作为相移器建立了相移剪切电子散斑干涉计量系统。该方法将相移技术引入到剪切电子散斑干涉术中,提高了检测精度,采用了相关条纹法求解相位,简化了计算;相移方法简单,可靠。用该系统进行应变场的测量实验,取得了满意的效果。 相似文献
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宽光谱干涉显微术广泛应用于高精密检测领域, 它测量样品形貌通常采用垂直扫描干涉术对亚微米至毫米级特征进行测量,以及相移干涉术对纳米级特征进行测量。其中,相移干涉术精度可达纳米级,但量程有限,高度变化对应的相位需限制在区间内。采用包裹相位展开算法可以扩展相移干涉术的量程,也仅适用于平滑表面,当高度起伏超出焦深或者光源相干长度的限定范围时,干涉条纹模糊或对比度丧失,所解算的结果将产生较大误差甚至错误。提出一种基于相位展开及拼接算法的高精度、大量程宽光谱干涉显微测量方法,以干涉条纹调制度量化条纹质量,条纹对比度高、成像清晰的区域对应调制度较高,定义当前焦面条纹调制度高于阈值的区域为理想区域,定义焦面条纹调制度低于阈值的区域为问题区域。以相位展开算法获得理想区域中的样品相位分布,问题区域的包裹相位不进行展开。使用微位移结构纵向移动物镜焦平面,选择合理的步长,使相邻焦面位置理想区域展开后的真实相位保持部分区域重合,根据重合区域的相位值均差可以实现不同焦面位置的高精度相位拼接,最终获得扩展量程的高精度真实相位结果,进而可以恢复样品完整的表面形貌分布。该算法通过对理想区域的筛选,避免了相位在问题区域展开带来的误差,可以得到精确的测量结果。通过模拟计算和实验验证,证明了该方法不仅保持了宽光谱干涉显微术中相移干涉术的纳米级高精度,还可将其量程从数百纳米拓展到数微米。而且,该方法精度不依赖于位移部件,理论上量程可以拓展到显微物镜的全工作距离。 相似文献
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在光学精密测量中,相移干涉法应用广泛。常用的相移器件容易出现相移误差,采用等步距相位提取算法会产生测量误差。基于最小二乘的迭代相位提取算法可以有效消除该类相位提取误差,提高测量精度,但是其迭代过程运行时间长,效率低。提出了一种基于选择采样的迭代相位提取算法,先对干涉图像进行等间隔抽样,降低计算量;再根据对比度滤除干涉图像中低质量像素点,防止误差增大,进行最小二乘迭代求解相位。仿真实验对算法进行了分析和验证,在抽样间隔为2时的选择采样方法与所有像素点全部代入计算相比,运行时间从6.687 s降为0.725 s,均方根误差仅为0.032 9。实验结果证明:选择采样的迭代相位提取算法运算时间短、误差小,非常适合高速相移干涉测量应用。 相似文献
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针对移相干涉仪中移相器的非线性会影响测量结果准确性的问题,提出了一种基于迭代最小二乘拟合的标定干涉仪移相器的新方法。对移相器加电压并采集若干幅干涉图后,通过在帧间和帧内迭代开展最小二乘拟合可计算出干涉图间移相值,从而得出了电压值与移相值的对应关系曲线,通过对曲线作非线性拟合并对电压值进行精密调整,完成移相器的精确标定。在改造后的干涉仪上对此标定方法进行验证,与Zygo干涉仪相比,相同元件下两者测量结果之差的RMS值为1.726 nm。该标定方法可以降低高精度面形测量干涉仪对移相器线性度的要求。 相似文献
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A Michelson interferometer with a phase-conjugate mirror (PCM) is described and discussed. The behavior of phase conjugate mirrors is discussed and the result of an experiment with a Michelson interferometer with a phase-conjugate mirror is described and commented. This interferometer has been proposed to be used to test the intrinsic non-locality of quantum mechanics. In this paper a new experimental setup to study the one-way velocity of light is proposed, which uses this new interesting device. 相似文献
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长干涉腔波长移相计算的自适应相位筛选法 总被引:1,自引:0,他引:1
波长移相干涉仪可用于大口径光学元件的测试。其移相量需经过标定方可采用定步长移相算法计算相位分布。在长腔长测试条件下,由于激光器的波长调谐驱动源的精度有限,采用定步长移相算法求解相位分布的精度不高。在分析干涉腔长和波面计算误差的基础上,提出了一种自适应相位筛选计算方法。根据电压-相位标定曲线采集多组周期干涉图,对干涉图中的光强值进行均匀分布抽样后,对其进行随机移相计算,求取每帧干涉图精确的步进移相量,从中筛选出移相量为π/2的四帧干涉图,利用四步移相计算公式求得精确的相位分布。实验结果表明,在波长移相干涉仪中运用该方法,可以很好地解决长腔长测试条件下的相位计算问题,与未进行筛选的计算结果比较,其测试精度得到了显著提高。 相似文献
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We propose a grating interferometer for step-profile altitude difference measurement. There are two main characteristics in this interferometer. The first is that the intensity distribution of the interference pattern is independent of the wavelength of the laser-diode used. No change of the intensity distribution occurs when the wavelength fluctuates. The second is that the measuring range is much larger than the wavelength of the light source because the spatial period of the grating is much larger than the wavelength. Sinusoidal phase modulating interferometry is easily applied to detect the phase variation of the interference pattern by vibrating the grating sinusoidally. The thickness of a 3.5-inch disk is measured with an accuracy of less than 0.5 μm. 相似文献
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Phase modulation of presently used phase-shifting interferometers is assumed to be spatially uniform across the observing aperture. However, calibration errors or the configuration of an interferometer can cause a spatial nonuniformity in the phase modulation. Spatial nonuniformity causes a significant error in the measured phase when the phase modulator has nonlinear sensitivity. An even-order nonlinearity in the phase modulation in particular contributes to the errors. Lowest-order errors can be suppressed by adding a new symmetry to the sampling functions of the phase-shifting algorithm, however the algorithm suffers from large random noise. The random noise is shown to be decreased substantially by applying one more sampled frame to the algorithm. We derive new seven-sample and eight-sample algorithms that can compensate for a nonuniform phase shift and has much less random noise than the previous algorithm we proposed. 相似文献
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介绍了一种具有fs时间分辨力的超短脉冲激光频域干涉测试技术,详细论述了该技术的工作原理和系统构成,指出传输时间差和相位差是影响频域干涉条纹周期的主要因素。采用脉冲激光频域干涉仪测量了200 nm厚度铝膜在波长800 nm、单脉冲能量0.7 mJ、脉宽35 fs脉冲激光作用下的运动速度剖面。在单次飞秒脉冲激光作用下,铝膜自由面的运动速度峰值可达960 m/s,速度剖面的上升前沿小于5.77 ps,表明脉冲激光频域干涉技术可用于测量材料在超快脉冲激光作用下的冲击动力学参数。 相似文献
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以慢变化近似为基础的新型正弦相位调制半导体激光干涉仪 总被引:2,自引:0,他引:2
提出并在实验上实现了一种以慢变化近似为基础的新型正弦相位调制半导体激光干涉仪。原理上它不要求相位解调一次和二次谐波分量振幅在实验中必须保持相等,从而将动态范围提高了3-4个数量级且不损失精度。用压电陶瓷和微电机驱动位移。 相似文献
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移相干涉技术中移相器的自校正方法 总被引:7,自引:1,他引:6
移相干涉技术(PSI)是80年代兴起的一门干涉图形自动识别技术,移相器作为移相干涉技术的关键部件其移相误差将直接影响到移相干涉技术的干涉图的识别精度。本文提出了一种移相器的自校正方法,即利用移相干涉仪的自身系统,通过快速傅里叶方法,对移相器进行逐步逼近校正。结合移相式红外干涉仪的研制,给出了一组移相器的自动校正的实验,实验表明,校正后的移相器的非线性误差可由原来的5%降低到0.2%。 相似文献