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共有20条相似文献,以下是第1-20项 搜索用时 437 毫秒

1.  声表面波耦合模模型参量的快速计算  被引次数:1
   刘建生  何世堂《声学学报》,2007年第32卷第4期
   根据分层介质理论精确求解压电基片和金属膜中的声波,计算了声表面波传播速度、机电耦合系数、静电容。结合陈-Haus理论,分析了短路栅阵的声表面波的传播特性,得到新的单电极栅阵栅条反射系数计算公式。计算了X-112°Y LiTaO_3上镀铝和ST石英上镀金两种情况下的耦合模模型参量,理论计算结果和国际上通用的Hashimoto程序计算结果吻合较好。实验测定了ST石英上镀金的反射系数,测试结果和理论结果更加符合。    

2.  不同晶体对称类的栅条反射系数的理论与实验研究  被引次数:1
   徐方迁  何世堂《声学学报》,2005年第1期
   对四方4/mmm、六角6/mmm和三角3m等晶体栅条反射系数进行了详细理论分析,给出具体的数学表达式,不同于已有的立方m3m栅条反射系数理论计算公式。根据理论分析结果给出112°旋转X切Y传LiTaO3基片上的铝短路反射栅和沟槽的反射系数。用实验方法研究了112°LiTaO3基片上的沟槽填铝短路反射的反射特性,得到了内反射为零的条件。证明了在112°LiTaO3基片上可用沟槽填铝单指结构实现无内反射的结论。将上述结果应用于单指无内反射滤波器的研制,得到了中心频率255 MHz、带宽约10 MHz、带内畸变小于0.4 dB的带通滤波器。    

3.  谐振式检测器指条厚度对质量型声表面波传感器灵敏度的影响  
   郝文昌  王藉秋  刘久玲  刘明华  梁勇  何世堂《声学学报》,2019年第3期
   研究了谐振器指条厚度对质量型声表面波传感器灵敏度的影响.利用耦合模方程推导出耦合模参量与周期栅阵禁带边界频率的关系,结合有限元及P矩阵模型,获得了声表面波传感器灵敏度随指条厚度的变化关系。制备3种不同铝指条厚度(1600?,1900?,3100?)的声表面波谐振器,通过对其表面中心区域沉积SiO_2层验证了计算结果。结果表明:采用ST-X石英基底的声表面波谐振器对SiO_2负载检测时,传感器的灵敏度随铝指条厚度的增加先变大后减小,最优归一化指条厚度为1.9%。分析表明,指条厚度对传感器灵敏度的影响主要来自于传播速度和耦合系数的共同作用,通过优化指条厚度的方法可改善传感器的灵敏度.    

4.  声表面波单指无内反射叉指换能器  被引次数:4
   何世堂  陈东培  汪承灏《声学学报》,1990年第3期
   在陈-Haus理论的基础上,本文首先从实验上研究了YZ-LiNbO_3上的短路金反射栅及ST-X石英上的沟槽填铝短路反射栅的反射特性,证明了这两种结构存在异常反射现象。同时,在实验中发现YZ-LiNbO_3上的短路金反射栅存在用改变栅条厚度无法消除的残余反射现象。我们将陈-Haus理论开拓到各向异性晶体的实际情况,从理论上解释了这一现象。 进而从耦合模理论出发讨论了叉指换能器的反射理论。在此基础上,本文着重从理论和实验上提出了利用异常反射现象实现单指无内反射换能器结构,具体分析和实现了两种无内反射叉指换能器结构:YZ-LiNbO_3上的金单指结构和ST-X石英上的沟槽填铝单指结构。在YZ-LiNbO_3上做出相对带宽14%,带内畸变小于±1dB的带通滤波器。与通常铝单指结构滤波器相比,带内畸变减小近10dB。在ST-X石英上做出了相对带宽0.9%,带内响应与理论设计要求完全相同的带通滤波器,而用通常铝单指结构,则滤波器的带内畸变将达到8dB。    

5.  电子束蒸发沉积Ir膜真空紫外反射特性  
   干蜀毅  刘正坤  盛斌  徐向东  洪义麟  刘颍  周洪军  霍同林  付绍军《光学学报》,2008年第28卷第10期
   Ir是一种重要的真空紫外反射材料,在太阳物理、宇宙物理、生命科学、大气物理、同步辐射等方面有着十分重要的应用.对电子束蒸发沉积Ir膜在真空紫外波段的反射特性进行了系统的理论和实验研究.根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模型,对不同基片上各种厚度的Ir膜真空紫外反射率进行了优化计算.根据计算和前期实验结果,采用电子束蒸发方法,在石英、K9玻璃基片上沉积了不同厚度的Ir膜,在入射波长120 nm处获得了近30%正入射反射率,对应的Ir膜厚度为12 nm.过厚或过薄均不利于Ir膜反射率的提高.经退火处理后,Ir膜中张应力有所释放但并未消除,同时晶粒平均尺寸显著增大,反射率下降.    

6.  单根电极或沟槽形成的栅格对声表面波的散射*  
   韩韬《应用声学》,2018年第37卷第1期
   该文借鉴汪承灏先生研究栅格声表面波散射的技术路线,提出一种既不限制基片和栅格形状、类型,也不限制声波入射方向,可精确计算栅格对SAW散射的有限元通用模型。作为对《超声学》第六章"声表面波"中栅格对声表面波的反射和体波散射一节部分结论的进一步阐释和说明,计算了YZ-Li Nb O3和128?YX-Li Nb O3单晶上厚度为200 nm、宽度为1μm的单根悬浮铝栅条以及沟槽在不同频率下的反射系数曲线。提出的计算方法今后可推广应用于层状结构基底、应用到非规则指条、沟槽、金属点阵、基片端面、台阶等的反射的精确分析,为优化设计新型声表面波器件奠定理论基础。    

7.  磁控溅射制备铬薄膜的结构和光电学性质  
   林建平  林丽梅  关贵清  吴扬微  赖发春《光子学报》,2014年第41卷第8期
   用直流磁控溅射技术在石英基片上制备不同厚度(5 nm~114 nm之间)的铬膜.使用X射线衍射仪和分光光度计分别检测薄膜的结构和光学性质,利用德鲁特模型和薄膜的透射、反射光谱计算铬膜的厚度和光学常量,并采用Van der Pauw方法测量薄膜电学性质.结果表明:制备的铬薄膜为体心立方的多晶态,随着膜厚的增加,薄膜的结晶性能提高,晶粒尺寸增大;在可见光区域,当膜厚小于32 nm时,随着膜厚的增加,折射率快速减小,消光系数快速增大,当膜厚大于32 nm时,折射率和消光系数均缓慢减小并逐渐趋于稳定;薄膜电阻率随膜厚的增加为一次指数衰减.    

8.  磁控溅射制备铬薄膜的结构和光电学性质(英文)  
   林建平  林丽梅  关贵清  吴扬微  赖发春《光子学报》,2012年第41卷第8期
   用直流磁控溅射技术在石英基片上制备不同厚度(5nm~114nm之间)的铬膜.使用X射线衍射仪和分光光度计分别检测薄膜的结构和光学性质,利用德鲁特模型和薄膜的透射、反射光谱计算铬膜的厚度和光学常量,并采用Van der Pauw方法测量薄膜电学性质.结果表明:制备的铬薄膜为体心立方的多晶态,随着膜厚的增加,薄膜的结晶性能提高,晶粒尺寸增大;在可见光区域,当膜厚小于32nm时,随着膜厚的增加,折射率快速减小,消光系数快速增大,当膜厚大于32nm时,折射率和消光系数均缓慢减小并逐渐趋于稳定;薄膜电阻率随膜厚的增加为一次指数衰减.    

9.  超小型声表面波谐振器  被引次数:1
   仇钢  章德  何小悦《应用声学》,2003年第22卷第6期
   传统声表面波谐振器中的指条反射阵占据了器件的大部分尺寸。由于剪切横波(SH wave)在材料基片的自由端面反射时不产生模式转换,因此可望利用自由端面来代替SH型声表面波谐振器中的指条反射阵,实现超小型低损耗的新型声表面波谐振器。本文首先用COM理论对新结构的谐振器进行了讨论,并且在实验上实现了120MHz至440MHz的几个单端谐振器(ST36°石英基片),其插入损耗从0.87dB至1.29dB,面积缩小到传统谐振器的50%至25%。    

10.  各向同性晶体栅阵反射系数的二维理论分析  
   张燕华  徐方迁  周选昌《浙江大学学报(理学版)》,2012年第39卷第2期
   声表面波器件是一个有限弹性体而不是半无限体,依据有限弹性体中的声表面波传输理论,分析声表面波器件周期栅阵对声表面的反射.假定晶体是各向同性的,结合声表面波在周期栅中传播特性的变分原理,用有限弹性体中二维理论的振动位移推导力学负载效应引起的反射系数,求解短路栅阵质量负载的反射系数.通过数值计算得到了玻璃基片不同长度下铝指条的反射系数.发现当基片长度与声波波长之比是奇数倍时,反射系数为正,但绝对值较小;当基片长度与声波波长之比是偶数倍时,反射系数为负,但绝对值较大.这说明要得到较大的反射系数,基片长度应当是声波波长的偶数倍.    

11.  SH型声表面波在栅阵中传播特性的变分原理研究  被引次数:1
   徐方迁  何世堂《声学学报》,2007年第32卷第3期
   提出了一个研究SH型声表面波在金属短路栅中传播时频散特性的理论方法,即根据陈东培和H.A.Haus理论,利用压电晶体中的变分原理和SH型表面波COM模型分析了栅阵中SH型声表面波的传播特性。该方法的最大优点是不需要使用复杂的Green’s function,其理论分析结果与Hashimoto有限元程序运算结果相一致。Hashimoto的程序在计算ST-90°X石英等一些晶体切向上短路栅的频散关系时是无解的。而这个新方法能很好的计算这些晶体上短路栅的频散关系。    

12.  利用准谐频叉指换能器实现GHz高频SAW滤波器  
   翟凡  章德  李勇  谢中华《应用声学》,1999年第18卷第2期
   本文利用准谐频设计方法,在常规光刻工艺水平上,成功地实现了GHZ级声表面波(SAW)器件,准谐频叉指换能器(QHIDT)的优点为:其指条宽与指间隙可以比一般的单指换能器宽,克服了单指换能器内指间的多次反射,并且又较好地解决了普通谐频叉指换能器基频抑制不好的缺点,本文给出了制作在ST石英基片上,工作频率1128MHZ的声表面波滤波器的实验结果。    

13.  Implementation of GHz SAWfilters using quasi-harmonic interdigital transducers  
   《应用声学》,1999年第18卷第2期
   本文利用准谐频设计方法,在常规光刻工艺水平上,成功地实现了GHz级声表面波(SAW)器件。准谐频叉指换能器(QHIDT)的优点为其指条宽与指间隙可以比一般的单指换能器宽,克服了单指换能器内指间的多次反射,并且又较好地解决了普通谐频叉指换能器基频抑制不好的缺点。本文给出了制作在ST石英基片上,工作频率1128MHz的声表面波滤波器的实验结果。    

14.  离子束溅射沉积Ir膜真空紫外反射特性研究  被引次数:1
   干蜀毅  刘正坤  盛斌  徐向东  洪义麟  刘颍  周洪军  霍同林  付绍军《光子学报》,2009年第38卷第5期
   根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模型,对不同基片上各种厚度的Ir膜真空紫外反射率进行了优化计算.采用离子束溅射沉积技术,在石英、K9玻璃和Si基片上沉积了不同厚度的Ir膜,研究了基片、表面厚度、离子束能量及镀后热处理对Ir膜反射率的影响,在波长120 nm处获得了近30%正入射反射率.    

15.  铜膜和铁膜污染物诱导熔石英表面损伤行为的对比研究  被引次数:1
   苗心向  袁晓东  王海军  向霞  吕海兵  蒋晓东  郑万国《光学与光电技术》,2009年第7卷第2期
   采用人工溅射的方式分别在熔石英基片上镀制了光学厚度相近的铜膜和铁膜污染物。研究了熔石英基底在355nm波长的激光损伤阈值。分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、膜层厚度、表面微观形貌以及激光辐照后薄膜的损伤形貌。实验结果表明:熔石英表面的金属膜状污染物均导致基片损伤阈值下降,位于前表面的污染物引起的损伤阈值下降更为严重,约为23%。两种污染物薄膜引起基底的损伤形貌、基底损伤阈值的下降幅度与薄膜的热吸收系数与微观结构有关。从热力学响应角度,结合损伤形貌对污染物诱导熔石英表面形貌的损伤机理进行了讨论。    

16.  亚微米i线光刻物镜的光学薄膜技术  
   郭永洪  尚佳江  张云洞《光学技术》,1998年第3期
   i线光刻物镜是对准光和光刻光的共孔径系统,要求对365.8nm和632.8nm双波长实现减反射。由于材料的限制,采用规则的14膜堆的3层膜系很难保证365.8nm和632.8nm双波长的高效减反射特性,因此,只能采用非规则膜系结构。而对非规则膜系的镀制,一般可以采用石英晶振监控的方法。理论上,采用石英晶振监控可以得到很高的膜厚控制精度,但我们通过实验发现,结果并非如此。究其原因,我们认为这是由于石英晶振实际监测的是膜层的质量而并非膜层厚度,而在膜层质量相同时,膜层的厚度随蒸发速度,轰烤等工艺因素的不同而不同,这些工艺因素影响了石英晶振的实际控制精度。因此我们决定采用石英晶振结合光学极值监控的方法进行膜厚监控。在膜系设计中,采用两层非规则膜层加上一层规则的14膜层的膜系结构。前面两层,采用石英晶振控制以充分利用石英晶振控制非规则膜厚精度较高的特点,而最后一层采用光学极值法,监控365.8nm处的反射信号,使其达到极小。在膜系的设计时,我们的设计使当365.8nm反射极小时,632.8nm处反射也位于极小值。为了增加膜层的牢固性以及抵抗环境变化的能力,膜层在镀制过程中要加热烘烤。我们用实验方法寻求到最佳的烘烤温?    

17.  同步辐射掠出射X射线荧光分析薄膜膜厚  被引次数:1
   巩岩  陈波  尼启良  崔明启  赵屹东  吴忠华《中国物理 C》,2005年第29卷第11期
   掠射X射线荧光分析为薄层和多层膜特性分析提供了潜在的可能. 尤其是可以探测膜层厚度、界面形貌和组成. 以北京同步辐射光源作激发光源, 采用掠出射方法测试了Si基片上不同厚度的单层Cr膜样品, 测试结果与理论计算基本符合. 同时观察到一定厚度的薄膜样品产生的掠出射X射线荧光的干涉现象.    

18.  声表面波在厚金属栅阵中的耦合模参数  被引次数:1
   徐方迁  金步平《声学学报》,2010年第35卷第4期
   提出了一种研究声表面波在压电晶体厚金属栅阵中传播特性的理论方法.将有限元和声表面波在周期栅阵中的变分原理分析方法相结合,在陈东培和H.A.Haus理论基础上、用有限元分析金属短路栅对声表面波传输特性的影响,将力学负载贡献的耦合模参数用有限元矩阵表示,使其适用于声表面波在厚金属或任意形状栅条中传输情况,给出了具体理论分析方法和相应的理论表达式.最后,具体研究了几种压电晶体上金、铝或银栅阵中声表面波的传输特性,通过数值计算给出了声表面波的耦合模参数.    

19.  多层薄膜瞬态热弹反射光栅实验及其理论分析和有限元数值计算  
   吴素贞  张淑仪《声学学报》,2011年第36卷第2期
   多层薄膜/基片材料的热学性质受各层薄膜及基片的共同影响,因此同时评估各层材料的热学性质是非常重要的.激光诱导瞬态热栅技术是一种研究材料表面及亚表_面光声光热现象有效的方法,因此可用于研究多层材料的热学性质.本文利用瞬态热弹反射光栅方法研究多层薄膜/基片结构材料的热扩散率,首先对A1/ZnO/Si基片结构的多层材料进行激光诱导瞬态热栅的光衍射检测实验,然后通过对该瞬态热栅的光衍射强度信号进行理论分析及有限元数值模拟,得到Al/ZnO/Si各层热扩散率对其表面温度场分布的影响,进而计算铝膜和氧化锌膜热扩散率对瞬态热栅引起衍射光信号的贡献.最后将理论分析与实验结果进行多参数拟合,在基片的参量已知的情况下,可同时得到铝膜和氧化锌膜的热扩散率.    

20.  栅中空化水翼的水动力特性  被引次数:1
   张博  王国玉  黄彪  张敏弟《工程热物理学报》,2009年第30卷第6期
   采用实验的方法研究了栅中水翼的空化水动力特性.实验在空化水洞中完成,采用高速摄像技术观测了不同空化阶段的空穴形态,并测量了栅中水翼所受的升阻力.结果表明:在空化没有发生时,栅中水翼所受升阻力随雷诺数的增加而增大;当空化产生时,不同的雷诺数下栅中水翼空化动力特性随a/2a的变化趋势一致;在相同的雷诺数下,当4>σ/2α>2.8时,栅中水翼升力系数变化的频率基本不随σ/2α改变,最大空穴长度小于水翼弦长,此时St=0.11;当σ/2α<2.8时,栅中水翼升力系数变化的频率增加,对应的St=0.28.    

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