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在瑞奇-康芒检测中,被检平面本身所固有的像散和大曲率在被检系统波像差数据中都表现为像散。由于被检平面处于发散光路中,这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂,推导起来十分困难,只能进行定性或半定量检测。文中介绍了如何通过计算机光线追迹模拟瑞奇-康芒检验,在两个瑞奇角下得到两组影响函数,以此建立过定方程组,由干涉仪检测得到的两个不同瑞奇角下的系统波像差,通过最小二乘法解过定方程组,拟合得到被检平面镜的面形误差;实现了大口径平面镜的定量检测,并以平面镜直接检验的面形误差作为对比,检验结果的一致验证了该方法的准确性与可行性。 相似文献
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瑞奇-康芒法是大口径平面元件面形检测的有效方法.通过分析检测光瞳到被检平面的位置转换关系以及波像差到面形误差的幅值转换关系,分别对检测得到的波像差以及干涉仪离焦产生的Power进行转换处理,利用最小二乘法计算出瑞奇-康芒两角度检测时的干涉仪离焦量,从而获得被检平面的面形误差分布.实验部分给出了第4项到第37项泽尼克多项... 相似文献
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大口径光学平面瑞奇-康芒检测技术的研究 总被引:1,自引:1,他引:1
在瑞奇-康芒定量检测中,被检数据中除了被检平面本身所固有的像散以外,还存在由于大曲率所造成的像散,这样就很难得到准确的被测平面面形误差,给指导镜面加工带来困难。对瑞奇-康芒检测法中由于瑞奇角产生的压缩图像进行展开,同时旋转被测平面进行推导,该方法将被检平面高低误差和被检平面本身的像散进行分离,使得检测结果更加准确地反映被检平面面形。通过与其它检测方法的比对,可以证明此方法的可行性、可靠性。给出了大天区面积多目标光纤光谱望远镜(LAMOST)项目中的MA大口径平面子镜的检测实例。 相似文献
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高精度瑞奇-康芒检测法研究及测试距离精度影响分析 总被引:1,自引:0,他引:1
为实现高精度瑞奇-康芒法检测,利用检测系统光瞳面与被测平面镜二者间的坐标转换关系,结合最小二乘法直接对测得的系统波像差进行恢复,通过两角度检测分离由光路调整引入的离焦误差,得到更为精准的平面镜面形。分析光路中测试距离对坐标转换关系以及瑞奇角求解精度的影响,根据仿真分析结果确定实验方案。实验中采用两角度检测,对测试波前进行恢复并分离系统调整误差后,最终得到被检平面镜面形,结果峰谷(PV)值为0.182λ、均方根(RMS)值为0.0101λ,对比干涉仪直接检测结果 PV值为0.229λ、RMS值为0.013λ,PV检测精度优于λ/20,RMS检测精度优于λ/100,实验结果证明了此种面形恢复方法的有效性以及测试距离精度分析理论的正确性,从而实现了瑞奇-康芒法高精度检测。 相似文献
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瑞奇-康芒法是用小口径干涉仪检测大口径平面镜的主要方法之一。通过分析瑞奇-康芒法中球面参考镜半径、平面镜位置和瑞奇角误差对测量精度的影响,给出了3个参数的选择方法。针对瑞奇-康芒法测量时误差分离导致的测量效率低的问题,提出适用于加工过程的快速瑞奇-康芒测量法,仿真模拟该方法下被测平面镜位置、角度等定位误差对测量结果的影响,并设计实验对比验证。该方法与直测法测量间的最大偏差峰-谷值(PV)为0.0151μm,均方根(RMS)为0.0036μm,能够有效满足加工过程中面形快速测量需求。 相似文献
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《中国光学与应用光学文摘》2004,(5)
TQ171.65 2004053915瑞奇-康芒法中的一种数据处理方法=A data processing method in Ritchey-Mommon test[刊,中]/田秀云(中科院光电所,四川,成都(610029)),吴时彬…∥光电工程,—2004,31(1)。—23-25,31 通过在光瞳面上取点的方法,找出被检平面镜面误差与检验系统波像之间的相互关系,即影响函数。利用 相似文献
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The absolute flatness measurements of two aluminum coated mirrors based on the skip flat test 总被引:1,自引:0,他引:1
Two methods based on the skip flat test are proposed to understand the absolute flatnesses of two aluminum coated mirrors, one with a circular aperture of 69 mm diameter, and the other with an elliptical aperture whose major and minor axes are 60 mm and 42 mm, respectively. For the mirror with the circular aperture, three measurements including one cavity measurement and two skip flat measurements are conducted. The measuring results are 0.079λ (PV) and 0.019λ (RMS). For the mirror with the elliptical aperture, two cavity measurements and one skip flat test are used. The measured results are 0.059λ (PV) and 0.014λ (RMS). The results agree well with those obtained with the mirrors measured at normal incidence, using high precision transmission flat as the reference. The agreements of the results indicate that the new methods could be used as two reliable ways to understand the absolute flatnesses of the aluminum coated mirrors. 相似文献
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A method is proposed to compensate intrinsic error in mirror symmetry absolute test. Because of the limitation of rotation times of flat A, intrinsic error of CNθ terms occurs in reconstructed wavefronts of flats A, B and C. If flat A is rotated to a new azimuthal position, and the wavefront difference between two measurements before and after rotation is calculated, the Zernike coefficients of CNθ terms can be obtained by solving coefficient equations due to rotation invariability of the form of Zernike polynomials in polar coordinates. Therefore, the intrinsic error of CNθ terms may be compensated. Because the amount of CNθ terms is infinite, the compensated terms are decided in terms of the balance between intrinsic error reduction and computational effort. Computer simulation proves the validity of the proposed method. 相似文献
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A test statistic is proposed to perform the goodness-of-fit test in the unbinned maximum likelihood fit. Without using a detailed expression of the efficiency function, the test statistic is found to be strongly correlated with the maximum likelihood function if the efficiency function varies smoothly. We point out that the correlation coefficient can be estimated by the Monte Carlo technique. With the established method, two examples are given to illustrate the performance of the test statistic. 相似文献
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为了测试人员能在平时使用模拟器系统进行测试训练。本文设计了一种筒弹测试故障模拟器系统,介绍了它的工作原理、系统的软硬件设计。该系统能对筒弹基本电气性能和测试接口进行模拟,在软件的控制下,实现模拟筒弹测试项目和模拟筒弹测试故障等功能,可以很好的完成筒弹测试设备测试人员对筒弹测试的操作训练。 相似文献
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A test statistic is proposed to perform the goodness-of-fit test in the unbinned maximum likelihood fit. Without using a detailed expression of the efficiency function, the test statistic is found to be strongly correlated with the maximum likelihood function if the efficiency function varies smoothly. We point out that the correlation coefficient can be estimated by the Monte Carlo technique. With the established method, two examples are given to illustrate the performance of the test statistic. 相似文献
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对试验数据进行科学合理的误差分析是提高靶场科研鉴定试验质量的一项重要内容。若使用未经分布律检验的试验数据进行精度分析,很可能影响鉴定和定型结论的正确性,该文借助于Excel,Matlab和Origin等最新数据处理、绘图软件技术对大量数据实地研究,取得了如下结论:部分样本和总体标本分段后是符合正态分布的,进一步提出将柯尔莫戈洛夫(Kolmogorov)与皮尔逊(Pearson)χ2两种方法作为靶场目标探测中大量数据分布律检验的统一规范,这样可大幅度提高试验的可信度。合理选择置信水平,可使试验航次数降到原试验航次数的10%~50%。该方法可推广到各类系统和单机试验中去。 相似文献