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相似文献
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A method of fast design and fabrication for bass-relief micro-profiles is developed by using an analytic formulation to determine the exposure distribution. Based on an equivalent exposure threshold model, the formulation is simplified for the case of bass-relief profile corresponding to the smaller exposure dose. The mask function for a microlens array is designed without iteration involved by the analytic formulation. The experiment is performed to validate the method, and the fabrication result is obtained with the profile error less than 30nm (rms).  相似文献   

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Rapid progress of nanoscience and nanotechnology has made significant impact on many academic disciplines and technical fields recently. In particular,  相似文献   

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浅谈近场光学   总被引:7,自引:0,他引:7  
李志远  杨国桢 《物理》1997,26(7):396-401
简要地介绍了近场光学的历史及现状,讨论了近场光学显微镜的构造、工作原理、工作方式及实际应用,并支近场光学的一些理论问题作了简明扼要的介绍,指出理论和实验上需要进一步发展的地方以及可能的途径。  相似文献   

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《光学技术》2011,(4):514
<正>"中国兵工学会2011年光学与光电技术交流会"将于2011年10月举行(会议地点待定)。主办单位:中国兵工学会承办单位:中国兵工学会光学专业委员会光学技术杂志社一、征文内容会议研讨或征文内容:工程光学与光学制造;数控光学加工系统;光学薄膜技术新进展;精密光学测量新  相似文献   

8.
《光学技术》2011,(1):2
<正>"中国兵工学会2011年光学与光电技术交流会"将于2011年10月举行(会议地点待定)。主办单位:中国兵工学会承办单位:中国兵工学会光学专业委员会光学技术杂志社一、征文内容会议研讨或征文内容:工程光学与光学制造;数控光学加工系统;光学薄膜技术新进展;精密光学测量新进展;新型光学材料及其应用;光电技术及系统;激光物理、技术及应用;全息与光信息处理;颜色科学与成像技术;光纤传感与光通信;生物医学光子学;非线性光学;自适应光学与大气光学。  相似文献   

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