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相似文献
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1.
设计并制作了用于测量波长大于150 μm(频率低于2 THz)的太赫兹波波长的金属网栅法布里珀罗干涉仪(FPI)。采用光电子微纳制造工艺制作了五组周期不大于40 μm,线宽不大于10 μm的有衬底方形金属网栅,利用太赫兹时域光谱技术测量了金属网栅的太赫兹波段光电特性,得到了各组金属网栅在感兴趣频段的反射率和金属网栅FPI的反射精细度,结果表明所制作的金属网栅FPI均可用于测量波长大于150 μm的太赫兹波。实验搭建金属网栅FPI扫描测量了212 μm的太赫兹波波长,与理论结果吻合。研究了金属网栅FPI对太赫兹波偏振方向的依赖性以及对FPI腔镜平行度的要求,结果表明,方形金属网栅FPI对正入射太赫兹波偏振方向不敏感,而对FPI腔镜平行度很敏感。  相似文献   

2.
激光直写方法制作透明导电金属网栅   总被引:8,自引:1,他引:7  
介绍了利用激光直写光刻技术在200mm×200mm基片上制作线宽为5μm,周期为350μm的红外透明导电金属网栅的工艺过程,对激光直写光刻技术和机械刻划掩模接触光刻制作金属网栅结构的两种方法进行了比较,给出了激光直写制作金属网栅的优点.  相似文献   

3.
为了制作基于ZnS的对雷达波高效电磁屏蔽的金属网栅,采用了一种新型的先胶后镀的光刻复制工艺。但在制作过程中,发现影响金属网栅成品率的主要因素为ZnS材料的颜色,即由于多晶ZnS的颜色和所用光刻胶的颜色相似,很难判断网栅是否显影彻底,进而影响真空镀膜过程中金属网栅膜的形成。结合金属网栅的制作工艺,通过采用镀一层过渡膜的方式,即采用镀膜、涂胶、显影、腐蚀、镀膜、去胶、腐蚀的工艺,有效地解决了ZnS颜色带来的影响。实验表明,采用该工艺一次性成功制作出线宽为8μm、周期为400μm的金属网栅。该工艺使基于ZnS金属网栅的成品率在90%以上。  相似文献   

4.
陈赟  李艳茹  张红胜 《中国光学》2014,7(1):131-136
为了制作基于ZnS的对雷达波高效电磁屏蔽的金属网栅,采用了一种新型的先胶后镀的光刻复制工艺。但在制作过程中,发现影响金属网栅成品率的主要因素为ZnS材料的颜色,即由于多晶ZnS的颜色和所用光刻胶的颜色相似,很难判断网栅是否显影彻底,进而影响真空镀膜过程中金属网栅膜的形成。结合金属网栅的制作工艺,通过采用镀一层过渡膜的方式,即采用镀膜、涂胶、显影、腐蚀、镀膜、去胶、腐蚀的工艺,有效地解决了ZnS颜色带来的影响。实验表明,采用该工艺一次性成功制作出线宽为8 μm、周期为400 μm的金属网栅。该工艺使基于ZnS金属网栅的成品率在90%以上。  相似文献   

5.
深亚微米SOI射频 LDMOS功率特性研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
毕津顺  海潮和  韩郑生 《物理学报》2011,60(1):18501-018501
提出了一种SOI LDMOS大信号等效电路模型,并给出了功率增益和输入阻抗表达式. 基于制备的深亚微米SOI射频LDMOS,测试了功率增益和功率附加效率. 深入研究了SOI LDMOS功率特性与栅长,单指宽度,工作电压和频率之间关系. 栅长由0.5 μm减到0.35 μm时,小信号功率增益增加44%,功率附加效率峰值增加9%. 单指宽度由20 μm增加到40 μm,600 μm /0.5 μm器件小信号功率增益降低23%,功率附加效率峰值降低9.3%. 漏端电压由3 V增加到5 V,600 μm /0.3 关键词: SOI射频 LDMOS 深亚微米 功率增益 功率附加效率  相似文献   

6.
为满足光学器件透红外屏蔽电磁波的要求,在PET柔性基底上制作了金属网栅透明屏蔽膜.分析网栅参数对其屏蔽效率及透过率的影响,选取结构参数.针对PET基底的柔性特点及其热稳定性,经试验研究优化光刻工艺中的提拉速度、烘烤时间及温度等参数,从而得到高质量的图形结构.采用磁控溅射法制备透明屏蔽膜,通过优化溅射功率、溅射气压等参数使膜/基结合更牢固.最后得到线宽为3μm、周期为250μm的金属网栅透明屏蔽膜.采用分光光度计测得其在300~2 200nm波段的平均透过率为77%;采用屏蔽室法测得其在2~18GHz频段的电磁屏蔽效率为12dB以上.  相似文献   

7.
亚波长金属线栅的设计、制备及偏振成像实验研究   总被引:3,自引:0,他引:3       下载免费PDF全文
针对红外偏振成像系统,运用等效介质理论,在氟化钙基底上设计了周期为200 nm,深度为100 nm的金属铝栅.模拟计算结果表明,设计的金属铝栅在中红外(3—5 μm)和远红外(8—12 μm)双波段范围内,以及±20°的视场范围内能够提供大于35dB的消光比.利用电子束曝光、反应离子束刻蚀、等离子去胶等工艺完成了金属铝栅的制作.将金属铝栅放在中波红外热像仪前,得到了目标轮廓清晰的偏振图像. 关键词: 亚波长衍射光栅 偏振成像 等效介质理论  相似文献   

8.
依据半导体光电导效应分析了光致导电复合网栅调控机理,阐明了光致导电复合网栅的设计思路与结构特点.结合透明衬底蓝宝石基片,选取雷达波2~18GHz,红外3~12μm波段为研究对象对复合网栅结构参数进行优化和仿真,当网栅参数周期由5mm变为2.5mm、边长由4.9mm变为2.4mm时,网栅的中心谐振频率从13.2GHz变为14GHz.采用衍射光栅同轴对准原理保证两次lift-off光刻工艺的对准精度,制备的网栅周期误差小于6μm,边长误差小于5μm,满足实验要求.复合网栅的光学和电学性能测试结果为:加载复合网栅的蓝宝石衬底样件与未加载的相比,红外透过率曲线整体走势未发生变化,透过率整体下降了7.8%左右,与单独金属网栅相比相差3.4%,符合红外透过损失规律.该复合网栅在敏感波长为600nm光照射下测得的中心谐振频率从13.22GHz变为14.03GHz,与仿真结果基本一致,验证了光照对复合网栅电磁性能调控的可行性.  相似文献   

9.
依据光学谐振腔的图解分析与设计方法,对以Nd:YAG固体激光器作光源的激光切割机进行了设计改进,实现了高亮度激光输出.并利用该设备对硅太阳电池进行了激光精密切割试验,使埋栅太阳电池电极槽达到了平均宽度为150±5 μm,槽深100±10 μm的设计指标.在发射结卷包太阳电池所用的硅衬底片上进行激光精密穿孔,目前最小孔径为20 μm.通过应用激光精密刻蚀技术,现将埋栅太阳电池光电转换效率提高到了21%,接近该领域的世界先进水平.  相似文献   

10.
在FEL实验中,电子束通过摇摆器,一方面由于周期性磁场作用,电子束轨迹要周期性的摆动,另一方面还要辐射同FEL辐射波长一致的白发辐射,该辐射谱反映电子束、摇摆器集成后的参数.在CAEP(Institute of China Academic Engineering Physics)远红外100 μm FEL实验中,自发辐射谱通过Ge:Ga低温探头和远红外100 μm光栅谱仪测量.文章侧重从实际摇摆器磁场分析了远红外100 μm FEL的自发辐射谱.  相似文献   

11.
张建  高劲松  徐念喜 《物理学报》2013,62(14):147304-147304
以氟化镁为基底材料, 采用基底、金属网栅与频率选择表面一体化设计方法设计了一种雷达波与光学波段双带通的结构. 利用模式匹配法对设计结构的传输特性进行了仿真研究, 并将设计结果与制备样件的测试结果进行了对比分析. 结果发现: 采用一体化设计的方法设计光学透明频率选择表面, 不仅能够快速得到电场基函数而且还能够准确预估其谐振尺寸, 从而在提高计算效率的同时避免了模式互作用零点的出现. 采用一体化设计方法获得了具有稳定滤波特性的光学透明频率选择表面, 为雷达/红外双模制导头罩的电磁屏蔽技术和隐身技术提供了一种有效技术方案. 关键词: 复合制导 频率选择表面 金属网栅 一体化设计  相似文献   

12.
马礼举  胡博  张翔 《应用光学》2020,41(1):55-59
为分析不同基底材料光学窗口电磁屏蔽性能,以Kohin的等效薄膜模型为基础,考虑电磁波在材料2个界面中的多次反射和折射,得到电磁波界面反射系数,利用matlab编写程序计算相同网栅、不同厚度、不同材料的屏蔽效率曲线,分析了厚度和材料对光窗屏蔽效率的影响。为验证仿真数据的准确性,在ZnS基底上制作了周期为500 μm、线宽为15 μm,电阻≤20 Ω的测试样片,测试其在8 GHz~18 GHz频段的电磁屏蔽效能。通过对比可看出:测试与理论计算数据较符合,误差约为2 dB~4 dB,计算数据可以预估光学窗口电磁屏蔽性能,为后续的设计工作提供参考。  相似文献   

13.
This paper reviews our recent experimental and simulation results regarding the electromagnetic wave transmission through three configurations of sandwiching structures of metamaterials: a metallic mesh sandwiched between two identical layers composed of split rings, metallic fractals, and fractal slits, respectively. We observed the enhanced transmission of the waves through these three types of sandwiching composites with respect to the opaque metallic mesh. The locations of the transmission peaks in the spectrum are associated closely with the band characteristics of the sandwiching layer by appearing either on the left- or the right-hand side of its band. PACS 41.20.Jb; 42.70.Qs; 78.20.-e; 42.25.Bs; 47.53.+n  相似文献   

14.
Metallic meshes work as band-pass filters in the terahertz (THz) region, with their transmission spectra acutely affected by the refractive index of the material inside and above the metallic-mesh openings. We used a metallic mesh for high-sensitivity observations by focusing on the “dip,” that is, a sudden change in transmittance that only appeared when the THz wave was obliquely incident onto the metallic mesh. Here we consider the interference between apertures of the metallic mesh in the diagonal direction and explain the dip using finite-difference time-domain (FDTD) electromagnetic simulations.  相似文献   

15.
Gabriel Kerner 《Surface science》2006,600(10):2091-2095
A weakly bound buffer material is structured on a surface by interfering low power laser beams, as a template for patterning metallic thin films deposited on top. The excess buffer material and metal layer are subsequently removed by a second uniform laser pulse. This laser pre-structured buffer layer assisted patterning procedure is demonstrated for gold layer forming a grating on a single crystal Ru(1 0 0) under UHV conditions, using Xe as the buffer material. Millimeters long, submicron (0.65 μm) wide wires can be obtained using laser wavelength of 1.064 μm with sharp edges of less than 30 nm, as determined by AFM. This method provides an all-in-vacuum metallic film patterning procedure at the submicron range, with the potential to be developed down to the nanometer scale upon decreasing the patterning laser wavelength down to the UV range.  相似文献   

16.
CoFeB/MgO不连续多层纳米软磁薄膜微波电磁特性   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
马强  江建军  别少伟  杜刚  冯则坤  何华辉 《物理学报》2008,57(10):6577-6581
采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替沉积工艺,制备了CoFeB/MgO系列纳米不连续多层薄膜,研究了微波频段下的电磁性能.结果表明,通过调整CoFeB合金相和MgO介质相的相对含量可有效调控薄膜的微结构和电磁性能,且在[Co64Fe24B12(0.7nm)/MgO(0.4nm)]40薄膜中获得了优良的微波软磁性能和高电阻率,其饱和磁化强度1.3 T,难轴矫顽力130 A/m,电阻率3.4mΩ·cm,且共振频率高达2.1 GHz,磁导率实部μ′和虚部μ″在1.59 GHz处均高于240,并且在0.9—2 GHz宽频带范围同时大于100.该薄膜可用于微波吸收材料和电磁兼容的设计中. 关键词: 纳米磁性颗粒膜 磁导率频谱 电磁性能 吸波材料  相似文献   

17.
Based on the rigorous coupled-wave analysis algorithm, we have systematically analysed the effect of the geometrical parameters of a dielectric film coated metallic grating with subwavelength slits on extraordinary optical transmission for s-polarization illumination. Results show that the dielectric film which sustains a waveguide electromagnetic mode on the top of the metallic lamellar grating can strongly enhance the transmittance, the positions of the transmission peaks are mainly determined by the period of the metallic grating, the thickness and refractive index of the dielectric film. This structure shows potential applications in excellent polarizers or polarization-isotropic devices at infrared spectral range by appropriately choosing the geometrical parameters.  相似文献   

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